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公开(公告)号：CN107796456B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201710958511.8
申请日：2017-10-16
Applicant: 东南大学
IPC: G01F1/69
Abstract: 本发明公开了一种基于双检测模式的宽量程流量传感器，包括衬底，设于衬底上的中心加热电阻以及中心加热电阻两侧对称分布的若干电阻元件,若干所述电阻元件均可分时复用为加热电阻或测温电阻，距离中心加热电阻较近的一对为内侧电阻元件，距离中心加热电阻较远的一对为外侧电阻元件，所述内侧电阻元件距离中心加热电阻的距离相等，所述外侧电阻元件距离中心加热电阻的距离相等，所述内侧电阻元件分别与外侧电阻元件之间的距离远小于内侧电阻元件分别到中心加热电阻的距离，还公开了其测量方法。本发明的基于双检测模式的宽量程流量传感器及测量方法，利用该流量传感器测量流速，可以达到宽量程的效果，且测量准确，流速测量范围广。
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公开(公告)号：CN109116050B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201810644581.0
申请日：2018-06-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/10
Abstract: 本发明涉及一种超小型高灵敏度二维风速计，包括衬底（1）、绝缘介质层（2）、正四棱台（3）、加热元件（4）和四个测温热电偶堆（51），结合本发明技术方案，构建超小型高灵敏度二维风速计，并设计与之相应的超小型高灵敏度二维风速计制造方法，具有如下优点：1）台面结构的引入，使得测量平面和焊接引线所在平面产生高度差，方便了传感器的封装；2）该传感器的热电偶近似垂直放置，冷端通过封装胶密封并保持和衬底及外壳同温，有效保证了冷端温度的一致性，传感器的温漂抑制能力高；3）台面结构的引入，大大降低了热偶的横向尺寸，使器件的尺寸更小；4）传感器敏感表面和外壳之间贴合度高，无封装胶暴露在空气中，传感器的可靠性高。
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公开(公告)号：CN107907707B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201711470767.0
申请日：2017-12-28
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器及检测方法，该传感器结构简单，且易于测量，具有高灵敏度。所述基于双层热电堆结构的风速风向传感器，所述风速风向传感器包括硅衬底、位于硅衬底上方的二氧化硅层，以及位于二氧化硅层中的加热电阻、上层热电堆组和下层热电堆组；上层热电堆组和下层热电堆组上下布设；加热电阻分别与第一加热电阻接触块和第二加热电阻接触块连接。
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公开(公告)号：CN108226568A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711380351.X
申请日：2017-12-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于八边形热敏电阻结构的风速风向传感器及其制备方法，其中传感器包括硅衬底、位于硅衬底上方的绝缘层、以及位于绝缘层上的加热电阻和8个热敏电阻，所述加热电阻的形状为正八边形，正八边形的每条边外侧对应设置有一个与该边倾斜角度一致的热敏电阻。本发明精度和灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN108169509A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711380409.0
申请日：2017-12-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于八边形热电堆结构的风速风向传感器及其制备方法，其中传感器包括硅衬底、位于硅衬底上方的绝缘层、以及位于绝缘层上的加热电阻和8个热电堆，所述加热电阻的形状为正八边形，正八边形的每条边外侧对应设置有一个与该边倾斜角度一致的热电堆。本发明精度和灵敏度更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106771339A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710034159.9
申请日：2017-01-18
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/12
CPC classification number: G01P5/12
Abstract: 本发明公开一种热损失型风速传感器，包括绝缘衬底，布置在绝缘衬底背面的加热电感线圈，以及布置在绝缘衬底正面且与加热电感线圈位置正对应的发热电感线圈；绝缘衬底正面上设有二氧化硅层，发热电感线圈的两个线端在二氧化硅薄层中连接，以形成闭合回路。同时还公开这种热损失型风速传感器的制备方法和基于这种热损失型风速传感器的风速检测方法。实现了正面感风，提高风速传感器的灵敏度，降低风速传感器的功耗；且通过正背面的电感线圈互相作用，解决引线问题，实现正面无线加热和无线测温，避免了键合线技术和衬底通孔技术。
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公开(公告)号：CN105388320A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510885873.X
申请日：2015-12-03
Applicant: 东南大学
CPC classification number: G01P5/04 , B81B3/0027 , B81B7/0009
Abstract: 本发明公开了一种基于微机械耦合器和间接式功率传感器的风速计，该传感器包括衬底，共面波导传输线、微机械耦合器以及间接式功率传感器部分。共面波导传输线生长在衬底表面，悬臂梁耦合器悬于共面波导传输线的信号线上方，中间为绝缘介质层和空气，与共面波导的信号线形成微机械耦合器。悬臂梁的锚区位于另外一段共面波导的中心信号线上，将耦合的微波功率传输到利间接式功率传感器，最终通过间接式功率传感器的直流输出电压计算出风速大小。
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公开(公告)号：CN103105531B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310026874.X
申请日：2013-01-18
Applicant: 东南大学
Abstract: 一种微电子机械在线式微波频率检测器及其检测方法，检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、四个完全相同的MEMS悬臂梁结构、功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器。本发明的微电子机械在线式微波频率检测器不但具有结构新颖，尺寸较小的优点，而且可以实现微波信号频率的在线检测，与GaAs单片微波集成电路兼容。
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公开(公告)号：CN103116072B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310027752.2
申请日：2013-01-18
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于固支梁和间接式功率传感器的微波检测系统及其检测方法，检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，微波检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、功合器以及四个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器。本发明的基于固支梁和间接式功率传感器的微波频率和功率检测系统不但具有结构新颖，尺寸较小的优点，而且可以实现微波信号频率和功率检测的集成，与GaAs单片微波集成电路兼容。
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公开(公告)号：CN102735934B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201210204625.0
申请日：2012-06-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01R25/00
Abstract: 本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器，该频率检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，设置在源极（2）和漏极（3）之间栅极（4），设置在在该栅极（4）上方且与栅极（4）相对的悬臂梁（6）。检测方法包括当在下拉电极（8）和悬臂梁（6）之间加载直流偏置时，悬臂梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，通过第一压焊块（12）加悬臂梁（6）上的待测微波信号加载到的栅极（4）上，经过一个电容和滤波器之后，通过检测源极（2）和漏极（3）饱和电流的大小最终实现相位的检测。本发明结构简单，易于测量。
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