公开(公告)号：CN102191463A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110065635.6

申请日：2011-03-14

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 黛良享 ,  有泉久美子 ,  黑光祥郎

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/22 ,  B32B9/00 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为CeO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为MgO或CaO中的任意一种粉末，或者选自ZnO、MgO和CaO中的两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。