公开(公告)号：CN1531020A

公开(公告)日：2004-09-22

申请号：CN03159791.2

申请日：2003-09-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 柳寅儆 ,  文昌郁 ,  郑守桓 ,  金东煜

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03F7/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  H01J1/312 ,  H01J9/022 ,  H01J9/027 ,  H01J2237/31774 ,  H01J2237/31783

Abstract: 本发明提供了用于电子束投影式微影系统的发射器和其制造方法。该电子束发射器包括一基板，一覆盖在基板上的绝缘层，及一门电极，它包括一以均匀厚度形成在所述绝缘层上的基层和一以预定图案在所述基层上形成的电子束阻挡层。一种制造方法包括以下步骤：准备基板；在所述基板上形成绝缘层；以预定厚度在所述绝缘层上淀积导电金属而形成一所述门电极的基层；以预定厚度在所述基层淀积能够阳极化的金属而形成一所述门电极的电子束阻挡层；及通过刻蚀在所述电子束阻挡层上刻蚀出预定的图案。所述发射器能够提供均匀电场并提供简化的制造方法。