公开(公告)号：CN105466358A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510883907.1

申请日：2015-12-04

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 杨树明 ,  王通 ,  刘涛 ,  蒋庄德 ,  时新宇

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种并行光学线层析显微测量方法，属于光学显微成像及精密测量技术领域。本发明首先利用计算得到标准平面反射镜的显微层析像场，其中I1、I2和I3分别是三幅结构光调制像场，绘制上述计算得到的显微层析像场中心点对应的轴向层析响应强度曲线；然后截取该曲线的单侧线性区间，建立强度场与样品表面高度的理论关联模型，得到测量校准线性曲线，形成高度——强度查找表；进而更换标准平面反射镜为实际待测样品，根据高度——强度查找表，得到单次扫描显微像场内所有点的表面高度值，实现一定轴向量程范围内样品表面形貌立体结构的层析检测。本发明可用于无轴向机械扫描、并行、立体层析快速检测。

公开(公告)号：CN105242390A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510707519.8

申请日：2015-10-27

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 刘涛 ,  杨树明 ,  王通 ,  蒋庄德 ,  王一鸣

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0024

Abstract: 本发明公开了一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法，属于高分辨共焦扫描光学显微成像及测量技术领域。本发明所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器为多环带形结构，每个环带可实现独立电极输出，利用不同环带信号的运算组合，编程选择滤波器信号输出模式以实现多种功能共焦探测输出，分别实现可变直径圆形针孔滤波、可变内外直径环形针孔滤波、差分和微分滤波共焦探测输出等，并应用实现高分辨率共焦层析成像及精密测量。以本发明为基础研制分辨率可调制共焦扫描光学显微镜，用于微纳结构表面形貌的精密测量或生物样品内部三维结构高分辨成像等。