用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件

    公开(公告)号:CN112136038B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN201980033152.2

    申请日:2019-05-07

    Abstract: 本发明公开一种用于制造至少一个用于量热探测气体的微机械的传感器的膜片装置的方法,其中:提供晶片状的衬底;将至少一个参考容积在形成至少局部覆盖参考容积的参考膜片的情况下通过表面或容积微机械工艺由前侧引入晶片状的衬底中;将至少一个与至少一个参考容积相邻的测量容积由晶片状的衬底的背侧或前侧在形成测量膜片的情况下引入衬底中;将晶片状的盖衬底施加到晶片状的衬底的前侧上。此外还公开一种膜片装置和构件。

    手持式工具机工具接收部
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104416179B

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201410409004.5

    申请日:2014-08-19

    Abstract: 本发明涉及一种手持式工具机工具接收部,其具有:至少一个工具接收元件(12);至少一个壳体元件(14),为了使一形状锁合元件(16)解锁,所述壳体元件设置用于沿着轴向方向相对于所述工具接收元件(12)移动;至少一个弹簧单元(68),所述弹簧单元使所述壳体元件(14)抵着所述工具接收元件(12)支撑到锁定位置中;至少一个中间元件(18),通过所述中间元件使所述弹簧单元(68)支撑在所述工具接收元件(12)上。本发明提出了,所述中间元件(18)无相对转动地与所述工具接收元件(12)以及壳体元件(14)耦合。

    工具接收装置
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102785229B

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201210152820.3

    申请日:2012-05-16

    CPC classification number: B23B31/1238 B23B31/1074 B25D17/088

    Abstract: 本发明涉及一种尤其用于锤钻的工具接收装置,该工具接收装置具有至少一个第一固定单元(35),该第一固定装置具有至少一个力锁合元件(39)并且被设置用于沿着运动轴线(26)以力锁合来固定一加工工具(15),该工具接收装置具有一第二固定单元(38),该第二固定单元具有至少一个形状锁合元件(40)并且被设置用于在至少一个运行状态中与加工工具(15)的形状锁合装置(30,32)一起限制所述加工工具(15)沿着运动轴线(26)的运动的运动间隙(44)。本发明建议,该工具接收装置具有至少一个操作装置(42),该操作装置被设置为能够松开所述第一固定单元(35)的力锁合元件(39)的夹紧力并且能够取消所述第二固定单元(38)对运动间隙(44)的限制。

    工具接收装置
    26.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103648727B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201280033486.8

    申请日:2012-03-16

    CPC classification number: B25D17/088 B23B31/1072 B23B31/1238 B25D2217/0049

    Abstract: 一种工具接收装置、尤其是用于锤钻,所述工具接收装置具有:至少一个第一固定单元35),所述第一固定单元具有至少一个力锁合元件(39)并且被设置用于沿着运动轴线(26)以力锁合来固定加工工具;第二固定单元(38),所述第二固定单元具有至少一个形状锁合元件(40)并且被设置用于在至少一个运行状态中与加工工具(14)的形状锁合器件(30,32)一起限制所述加工工具(14)沿着运动轴线(26)运动的运动余地(44);以及弹簧单元(78),其被设置用于在至少一个运行状态中给所述形状锁合元件(40)加载夹紧力。本发明建议了,在至少一个运行状态中,所述弹簧单元(78)和所述至少一个力锁合元件(39)至少部分地关于所述运动轴线(26)径向交叠地设置。

    工具接收装置
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102785230B

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201210152944.1

    申请日:2012-05-16

    Abstract: 本发明涉及一种用于加工工具(14;14a;14b)、尤其是钻削工具和/或凿削工具的工具接收装置,该加工工具具有至少一个第一形状锁合装置(30,32;30a,32a;30b,32b),该工具接收装置具有一个固定装置(38;38a;38b),该固定装置具有至少一个第二形状锁合装置(40;40a;40b),并且所述固定装置被设置用于在至少一个运行状态中与所述第一形状锁合装置(30,32;30a,32a;30b,32b)一起限制所述加工工具沿着运动轴线(26;26a;26b)的运动的运动间隙(44),该工具接收装置具有一个支承单元(46;46a;46b),该支承单元被设置用于沿着至少一个支承轴线48;48a;48b)支承所述第二形状锁合装置。本发明建议,所述第二形状锁合装置(40;40a;40b)具有至少一个切口(70,72,74;70a,72a;70b,72b),所述切口在至少一个运行状态中不与另外的部件配合。

    工具接收装置,其尤其用于钻锤
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105598918A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201510795426.5

    申请日:2015-11-18

    Abstract: 本发明涉及一种工具接收装置,尤其用于钻锤,所述工具接收装置具有:至少一个第一固定单元(10a;10b),所述第一固定单元具有至少一个力锁合元件(12a;12b)并且设置用于,通过力锁合使加工工具(14a;14b)沿着运动轴线(16a;16b)固定;第二固定单元(18a;18b),该第二固定单元具有至少一个形锁合元件(20a;20b)并且设置用于,在至少一个运行状态下与加工工具(14a;14b)的形锁合器件(22a,24a;22b,24b)共同地限界加工工具(14a;14b)沿运动轴线(16a;16b)运动的运动余地(26a;26b)。在此提出,工具接收装置包括用于接收夹紧扳手(32a;32b)的至少一个夹紧扳手接收单元(30a;30b),所述夹紧扳手设置用于操作第一固定单元(10a;10b)。

    手持式工具机工具接收部
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104416179A

    公开(公告)日:2015-03-18

    申请号:CN201410409004.5

    申请日:2014-08-19

    Abstract: 本发明涉及一种手持式工具机工具接收部,其具有:至少一个工具接收元件(12);至少一个壳体元件(14),为了使一形状锁合元件(16)解锁,所述壳体元件设置用于沿着轴向方向相对于所述工具接收元件(12)移动;至少一个弹簧单元(68),所述弹簧单元使所述壳体元件(14)抵着所述工具接收元件(12)支撑到锁定位置中;至少一个中间元件(18),通过所述中间元件使所述弹簧单元(68)支撑在所述工具接收元件(12)上。本发明提出了,所述中间元件(18)无相对转动地与所述工具接收元件(12)以及壳体元件(14)耦合。

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