振动器件
    21.
    发明公开
    振动器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN114389564A

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202111215410.4

    申请日:2021-10-19

    Abstract: 振动器件。能够在俯视时实现小型化。振动器件(1)包括:半导体基板(4),其具有设有集成电路(41)的第1面(4h)以及与第1面(4h)处于正反关系的第2面(4r);振动元件(5),其配置在第1面(4h);盖(3),其具有在第1面(4h)侧开口的凹部(32)和与第1面(4h)抵接的抵接面(31),在抵接面(31)处与第1面(4h)接合;以及金属层(6),其配置在第1面(4h)与抵接面(31)之间,在从第1面(4h)的法线方向俯视时,集成电路(41)的至少一部分与金属层(6)重叠。

    光调制装置及其制造方法
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100334479C

    公开(公告)日:2007-08-29

    申请号:CN02123161.3

    申请日:2002-06-26

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 提供一种耐久性好的光调制装置及其制造方法。利用由驱动电极(130)和微镜(220)之间的电位差所产生的静电力来倾斜驱动微镜(220)的光调制装置的制造方法,包含整体形成位于倾斜驱动微镜(220)时的支点处的支撑部(280)和成为倾斜驱动微镜(220)时的轴的轴部(230)。

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