压电电动机、液体喷射装置以及计时器

    公开(公告)号:CN101847942B

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201010150618.8

    申请日:2010-03-25

    Abstract: 本发明提供可提高压电元件的振动特性的压电电动机、液体喷射装置及计时器。本发明的压电电动机具备:压电致动器,其具备具有压电体层40和在夹着该压电体层40的两面分别设置的第1电极50及第2电极60的压电元件30以及在该压电元件30的第1电极50侧固定的振动部件;和与上述振动部件触接而旋转的旋转轴,上述压电体层40具有在宽度方向中心侧设置的激励纵振动的纵振动激励区域41和在夹着该纵振动激励区域41的成对角区域成对的2组激励弯曲振动的弯曲振动激励区域42、43,上述压电体层40的纵振动激励区域41和弯曲振动激励区域42、43的一组42与弯曲振动激励区域42、43的另一组43的极化方向逆转。

    半导体装置、铁电存储器及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN100409445C

    公开(公告)日:2008-08-06

    申请号:CN200510073237.3

    申请日:2005-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种半导体装置,虽然是叠式的但甚至在达到必要的尺寸实现精细化时仍具有允许的漏泄电流。该半导体装置包括电容器部(102),该电容器部(102)包括设置在位于衬底(100)上的杂质层(117)上的SiO2层(119)上的下部电极(111)、设置在下部电极(111)上的铁电层(109);以及设置在铁电层(109)上的上部电极(107)。该半导体装置还包括:SiO2层(118),使上部电极(107)和布线(105)电气绝缘;接触孔(103a),形成W塞(113),用于在杂质层(117)和下部电极(111)之间电连接;以及接触孔(103b),用于在上部电极(107)和布线(105)之间电连接。在电容器部(102)的平面图中,接触孔(103a)和接触孔(103b)位于相互偏离的位置上。

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