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公开(公告)号：CN115727934A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211048206.2
申请日：2022-08-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田耕平
Abstract: 提供一种激光干涉仪，能抑制返回光针对激光光源的入射，能抑制根据受光信号对源自测定对象物的采样信号进行解调的精度的下降。激光干涉计具备：激光光源；准直部，生成准直光；光调制器，将准直光调制为频率不同的参照光；以及受光元件，接受物体光和参照光，输出受光信号，将准直光的光轴设为第一光轴，当生成返回光时，将返回光的光轴设为第二光轴，将生成准直光的位置设为基准位置，当将基准位置中的第一光轴与第二光轴的偏离宽度设为Δy，将准直部的有效直径设为κ，将准直光的光径设为R，将基准位置与光调制器的距离设为L，将准直光的波长设为λ时，满足下述式(A)
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公开(公告)号：CN115406481A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210576935.9
申请日：2022-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明提供一种激光干涉仪，无论振动元件的振动条件如何，都能够更正确地解调来自测定对象物的多普勒信号。该激光干涉仪具备：光源，射出激光；光分割器，将从光源射出的激光分为第一光路和第二光路；光调制器，具备设置在第一光路或第二光路上、通过流过电流而振动的振动元件，并利用振动元件调制激光；受光元件，接收由设置在第一光路或第二光路上的测定对象物反射的激光，并输出受光信号；以及解调电路，基于基准信号及调制信号，从受光信号解调来自测定对象物的多普勒信号，其中在将流过正在振动的振动元件的电流的振幅值设为Iq[A]、将振动元件的振动频率设为f[Hz]时，满足Iq/f≤1×10‑7。
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公开(公告)号：CN104076021B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201410103596.8
申请日：2014-03-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田耕平
IPC: G01N21/65 , G01N21/552
Abstract: 本发明提供可确保増强电场热点的密度的同时、也在金属粒子间的间隙增强拉曼散射光来提高检测能力的光学器件、检测装置及电子设备。光学器件（10）具有基板（12）、包括在基板上形成的多个金属粒子（14）的金属纳米结构（16）、以及在金属纳米结构上形成的有机分子膜（20）。多个金属粒子在俯视观察下的粒径为1nm～500nm。有机分子膜包括沿膜厚方向贯通的多个空穴（22）。多个空穴在金属粒子的表面上沿二维方向排列。多个空穴的尺寸a满足0.5nm≦a≦5nm，多个空穴的周期P满足P≦10nm，有机分子膜的膜厚t满足t≦1nm。
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公开(公告)号：CN103018210B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210480059.6
申请日：2010-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01N21/552 , G01N21/65 , G01N21/77
Abstract: 本发明提供了一种分析装置，其包括：传感器芯片；光源，向所述传感器芯片照射偏振光；以及光检测器，检测通过所述传感器芯片获得的光，其中，所述传感器芯片包括：基体部件，具有平面部；以及衍射光栅，所述衍射光栅的表面是金属的，所述衍射光栅包括：多个第一突起，沿与所述平面部平行的第一方向，按大于等于100nm小于等于1000nm的周期周期性地排列；基底部分，由相邻的第一突起间的区域中的所述基体部件的平面部构成；以及多个第二突起，形成在多个所述第一突起的上表面，构成与所述第一突起重叠的构造。
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公开(公告)号：CN103868905A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201310670675.2
申请日：2013-12-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01J1/42 , B82Y15/00 , G01N21/65 , G01N21/658 , Y10T428/256 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种能够形成规定物质的捕捉空间、进一步提高检测灵敏度的光学器件、检测装置、电子设备以及光学器件的制造方法。光学器件（10）具有：具有电介质层（16）和多个金属粒子（18）的基板（12），以及自组装形成于电介质层以及金属粒子的至少一方的表面的有机分子层（30）。有机分子层（30）中，第一有机分子（40B）和第二有机分子（42A）在第一方向交替配置，第一有机分子（40B）的有机基团的链长r1与第二有机分子（42A）的有机基团的链长r2彼此不同。
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公开(公告)号：CN103018211A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210480083.X
申请日：2010-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种传感器芯片、传感器盒以及分析装置。该传感器芯片包括：基体部件，具有平面部；以及衍射光栅，具有由金属形成的表面，形成在所述平面部上，且目标物质配置在所述衍射光栅上，所述衍射光栅包括：多个第一突起，沿与所述平面部平行的第一方向，按大于等于100nm小于等于1000nm的周期周期性地排列；多个基底部分，位于相邻的两个所述第一突起之间，构成所述基体部件的底部；以及多个第二突起，形成在多个所述第一突起的上表面。
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公开(公告)号：CN103018210A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210480059.6
申请日：2010-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种传感器芯片、传感器盒以及分析装置。该传感器芯片包括：基体部件，具有平面部；以及衍射光栅，具有由金属形成的表面，形成在所述平面部上，且目标物质配置在所述衍射光栅上，所述衍射光栅包括：多个第一突起，沿与所述平面部平行的第一方向，按大于等于100nm小于等于1000nm的周期周期性地排列；多个基底部分，位于相邻的两个所述第一突起之间，构成所述基体部件的底部；以及多个第二突起，形成在多个所述第一突起的上表面。
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公开(公告)号：CN102072879B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010551069.5
申请日：2010-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J1/0407 , G01N21/55 , G01N21/553 , G01N21/658 , G01N21/774
Abstract: 本发明提供了一种传感器芯片、传感器盒以及分析装置。该传感器芯片包括：基体部件，具有平面部；以及衍射光栅，具有由金属形成的表面，形成在所述平面部上，且目标物质配置在所述衍射光栅上，所述衍射光栅包括：多个第一突起，沿与所述平面部平行的第一方向，按大于等于100nm小于等于1000nm的周期周期性地排列；多个基底部分，位于相邻的两个所述第一突起之间，构成所述基体部件的底部；以及多个第二突起，形成在多个所述第一突起的上表面。
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公开(公告)号：CN118999344A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410618380.9
申请日：2024-05-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01B9/02015 , G01B11/00 , G01B11/26 , G01H9/00
Abstract: 本发明提供激光干涉仪和激光干涉仪的光轴调整方法，抑制产生干涉条纹，并抑制受光信号中的S/N比降低，能够高效地进行激光干涉仪的光轴的调整。激光干涉仪具备光干涉部和指示部，光干涉部为非同轴光学系统，并具有：激光光源，射出激光；光调制器，对激光的频率进行调制而生成参照光；受光元件，接收通过激光照射至对象物而生成的物体光和参照光并输出受光信号；第一开口元件，配置于入射至受光元件的光路上，检测物体光的光轴相对于参照光的光轴的位置偏移；以及角度偏移检测部，基于受光信号检测物体光的光轴相对于参照光的光轴的角度偏移，指示部基于位置偏移的检测结果和角度偏移的检测结果发出变更光干涉部与对象物的相对配置的指示。
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公开(公告)号：CN118721760A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410360184.6
申请日：2024-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供输送带熔敷装置和输送带熔敷方法，能够提高与输送带的熔敷相关的作业效率。输送带熔敷装置具备：抵接部，具有能够与输送带抵接的抵接面；第一电极；第二电极，配置为在从朝向输送带的第一方向进行俯视观察时包围第一电极；第一导体，具有线圈，并将能够传输高频电压的传输线路与第一电极电连接；以及第二导体，将传输线路与第二电极电连接，第一电极和第二电极通过响应于高频电压的施加产生电磁波而对输送带进行熔敷。
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