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公开(公告)号：CN109196881B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201780025741.7
申请日：2017-04-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H04R17/00 , A61B8/14 , H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113
Abstract: 提供超声波的收发效率高的超声波器件、超声波模块和超声波测量装置。该超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支承膜，设在基板上，并堵塞第一开口及第二开口；发送用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第一开口重叠的位置，发送用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及接收用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第二开口重叠的位置，接收用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，在基板的厚度方向上，发送用压电膜的厚度尺寸比接收用压电膜的厚度薄。
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公开(公告)号：CN108120769A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711165390.8
申请日：2017-11-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村友亮
CPC classification number: A61B8/4444 , A61B8/4272 , A61B8/4494 , A61B8/5269 , A61B8/54 , G01N29/0672 , G01N29/221 , G01N29/2437 , G01N29/32 , G01N2291/02475 , G01N2291/2697 , A61B8/00 , G01N29/2406 , G01N2291/02466
Abstract: 本公开涉及超声波设备、超声波装置以及厚度设计方法。本申请公开了一种超声波设备，其特征在于，具备：基板，包含第一面及作为所述第一面的背面的第二面，具备从所述第一面延伸至所述第二面而开口的开口部；支持部，在所述第一面侧阻塞所述开口部；振子，设置于所述支持部；金属膜，设置于所述基板的所述第二面上的未通过所述开口部而开口的未开口区域。
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公开(公告)号：CN103418541B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201310187662.X
申请日：2013-05-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B06B1/06
CPC classification number: B06B1/0644 , A61B8/4444 , B06B1/0622 , G01S15/02 , G10K9/122 , G10K13/00 , H01L41/053 , H01L41/0825
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器、超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括：基板，具有开口；支撑膜，设置在上述基板上、用于封闭上述开口；以及压电元件，设置于开口对应部位，上述开口对应部位是设置于上述支撑膜上、且在从上述基板的厚度方向的俯视观察时与上述开口重叠的区域，其中，上述支撑膜的上述开口对应部位的上述俯视观察时的重心位置的厚度小于上述支撑膜的上述开口对应部位的与上述开口连接的外缘部的厚度。
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公开(公告)号：CN103512649B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201310234153.8
申请日：2013-06-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H11/08
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/4444 , B06B1/0629 , B06B1/0674
Abstract: 本发明提供超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括：基板，设置有多个腔体；隔膜，设置于上述腔体上；薄膜压电元件，设置于上述隔膜上；连通路径，使上述多个腔体连通；以及空气孔，使上述连通路径与外部空气连通。
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公开(公告)号：CN103208282B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201210590296.8
申请日：2012-12-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村友亮
CPC classification number: G03B42/06 , B06B1/0629 , G10K9/125 , G10K11/32
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器、超声波探测器、诊断设备及电子设备。该超声波换能器的特征在于，包括：具有可挠性的第一基板；设置在上述第一基板上、进行超声波的发送和接收的多个超声波元件；以及具有使上述第一基板在第一方向上挠曲的第一基板变形部、以及使上述第一基板在与第一方向交叉的第二方向上挠曲的第二基板变形部的基板变形装置。
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公开(公告)号：CN103720486B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201310471388.9
申请日：2013-10-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: H01L41/09 , A61B8/4405 , A61B8/4411 , A61B8/4427 , A61B8/4483 , A61B8/4494 , B06B1/0622 , H01L41/053 , H01L41/0838 , H01L41/1132
Abstract: 本发明提供了超声波转换器装置、探测头、超声波探测器、电子设备及超声波诊断装置，其中，该超声波转换器装置包括：阵列状设置有多个开口的基板；在基板的第一面，对多个开口的各个开口设置有各超声波转换器装置元件的多个超声波转换器元件；固定在基板的第一面的相反侧的面即基板的第二面的部件。在部件上设置有多个第一槽部、使多个第一槽部汇聚在一起的第二槽部。
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公开(公告)号：CN103286056B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310053151.9
申请日：2013-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0629 , A61B8/4427 , A61B8/4488 , A61B8/4494 , B06B1/0622 , H01L41/053
Abstract: 本发明提供了超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备，该超声波换能器元件芯片具备：基板，将多个开口配置为阵列状；超声波换能器元件，设置于多个所述开口中的每个所述开口；板状部件，被固定在所述基板的设置有所述超声波换能器元件的面的相反侧的面上，从所述基板的厚度方向俯视观察，覆盖多个所述开口的至少一个以上，多个所述开口之间的隔壁部的壁厚小于壁高。
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公开(公告)号：CN104203109B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201380016098.3
申请日：2013-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0629 , A61B8/4427 , A61B8/4444 , A61B8/4494 , A61B8/461 , A61B8/5207 , B06B1/0622 , G01S15/8934 , G03B42/06 , H01L41/0825 , H01L41/22
Abstract: 一种超声波换能器元件芯片，其特征在于，具备：基板，阵列状地配置有开口；超声波换能器元件，在所述基板的第一面设置于各个所述开口；增强部件，固定于与所述基板的所述第一面相反一侧的所述基板的第二面，用于增强所述基板；以及通气路径，使所述开口的内部空间和所述基板的外部空间相互连通。
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公开(公告)号：CN104068891A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410103374.6
申请日：2014-03-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 中村友亮
IPC: A61B8/00
CPC classification number: B06B1/067 , A61B8/4281 , B06B1/0629 , G10K11/02
Abstract: 本发明提供一种声匹配体及超声波探测器以及超声波图像装置。该声匹配体的特征在于，具有：连接到超声波换能器元件的超声波出射面的元件连接面、相对于上述元件连接面为凸形且由相互平行的母线形成的弯曲面、以及贯穿上述元件连接面和上述弯曲面之间的狭缝状的贯通孔。
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公开(公告)号：CN102243371B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201110228932.8
申请日：2008-01-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种执行机构、光学扫描器及图像形成装置，其可以实现小型化、缓和或防止对环境温度的影响，并可发挥希望的振动特性。执行机构包括可动板，能够绕转动中心轴转动；一对连接部，连接所述可动板；支持部，支持所述连接部；以及压电元件，转动驱动所述可动板，所述各连接部包括：轴部件，从所述可动板延伸出来；驱动部件，连接所述轴部件；以及一对弹性部件，可弹性变形，并且连接所述驱动部件和所述支持部，其中，通过所述轴部件和所述一对弹性部件的热膨胀，前述驱动部件沿所述轴部件的延伸出来的方向向离开所述可动板方向的位移。
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