公开(公告)号：CN104596495A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201410601637.6

申请日：2014-10-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  清水教史

IPC: G01C19/5719

CPC classification number: G01C19/5614 ,  G01C19/5607 ,  G01P3/02 ,  G01C19/5719

Abstract: 本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备：固定部(221、222)；基部(21)；将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226)；连接于基部(21)的驱动用振动臂(25～26)；连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24)，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。

公开(公告)号：CN104596492A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201410602201.9

申请日：2014-10-31

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中川啓史

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/5762

Abstract: 本发明提供能够使每单位质量的失谐频率的变化量增大的振动元件、振子、电子设备以及移动体。本发明的振动元件为，在假定了互相交叉的第一轴、第二轴、第三轴时，以第三轴为法线的振动元件，并具有：基部；被支承在基部上，并在第二轴方向上延伸的至少一根驱动用振动臂；在与驱动用振动臂不同的位置处被支承在基部上，并在第二轴方向上延伸的至少一根检测用振动臂，当在驱动用振动臂于第一轴方向上进行往复驱动的同时，向振动元件施加了绕第二轴的旋转时，检测用振动臂的在从基部起沿着第二轴方向而离开距离y1的位置处的第三轴方向上的位移量，与驱动用振动臂的在从基部起沿着第二轴方向而离开距离y1的位置处的第三轴方向上的位移量相比较大。