公开(公告)号：CN108431938A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201680077792.X

申请日：2016-12-27

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 张晶 ,  J·内斯比特 ,  G·H·陈 ,  R·威灵福德

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8887 ,  G06T3/4053 ,  G06T5/003 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10004 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/20056 ,  G06T2207/20076 ,  G06T2207/20081 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明提供一种检查系统，其包含照明子系统、收集子系统及控制器。所述照明子系统包含：照明源，其经配置以产生照明光束；及一组照明光学装置，其用来将所述照明光束引导到样品。所述收集子系统包含：一组收集光学装置，其用来收集从所述样品发射的照明；及检测器，其经配置以从所述样品接收所述经收集照明。所述控制器经配置以：获得所述样品的测试图像；重建所述测试图像以增强所述测试图像的分辨率；及基于所述经重建测试图像检测所述样品上的一或多个缺陷。