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公开(公告)号：CN118192009A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311733414.0
申请日：2023-12-15
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
IPC: G02B6/26
Abstract: 本发明公开了基于机器视觉的平面波导自动耦合对准方法及其系统，方法通过获取待对准平面波导芯片和光纤阵列的图像信息，利用图像处理算法确定关键特征等，计算它们之间的相对位置关系，生成对准信号，并使用该对准信号控制平面波导芯片和光纤阵列进行自动耦合对准；系统包括高精度六维调节架、精密夹具模块、机器视觉模块、光功率检测模块。本发明公开的基于机器视觉的平面波导自动耦合对准方法及其系统，旨在提高对准精度和生产效率，同时增强系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN117907279A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311672956.1
申请日：2023-12-07
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
Abstract: 本发明公开了基于损失模式共振效应的簇形光子晶体光纤传感器，在光子晶体光纤层中，通过空气孔结构的可控性，对内部空气孔的形状和位置进行改变调整，以形成周期性呈规则六边形状排列的簇形空气孔结构，从而把光限制在纤芯内传播并产生损耗。本发明公开的基于损失模式共振效应的簇形光子晶体光纤传感器，利用光子晶体光纤本身的结构特性，结合金属氧化物薄膜和石墨烯层来实现LMR，用光纤纤芯代替传统的耦合棱镜来设计基于LMR的光纤传感器，在光纤传感区域沉积一定厚度的金属氧化物薄膜，增强损失共振效应使得传感器对分析物质的变化更加敏感。
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公开(公告)号：CN117877573A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311654913.0
申请日：2023-12-05
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
Abstract: 本发明公开了一种利用伊辛模型的多基因遗传风险评估模型的构建方法，包括读取原始样本的SNP数据，计算各单核苷酸多态性之间的相关系数；获取目标疾病的全基因组关联分析公开数据，设定P值的阈值，作为后续筛选SNP的基准：根据原始样本中各SNP的相关系数，构造伊辛模型，并加入正则项；利用伊辛机求解伊辛模型的解，获取用于预测目标疾病的SNP；基于筛选后的SNP，利用机器学习算法预测目标疾病。本发明公开的一种利用伊辛模型的多基因遗传风险评估模型的构建方法，将传统方法中筛选SNP的过程转化为对伊辛模型的求解，利用伊辛机高效准确地筛选用于算法建模PRS的SNP，提高了对目标疾病的预测效率和准确度。
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公开(公告)号：CN117875227A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311654915.X
申请日：2023-12-05
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
IPC: G06F30/30 , G06F16/903
Abstract: 本发明公开了一种器件仿真数据存储及查询的方法，对于器件参数的修改存储包括步骤1：创建仿真记录表和器件参数修改表，在仿真记录表中创建包括器件类型、器件名称、时间戳以及描述信息的表字段名，并且在器件参数修改表中创建包括参数名称、参数值、时间戳、仿真记录id以及描述信息的表字段名；步骤2：设计器件模型，通过数学模型来表示器件的几何模型，从而便于使用编程语言生成器件的GDS文件。本发明公开的一种器件仿真数据存储及查询的方法，能有效对器件参数进行管理，能方便查询历史参数的修改记录，减少了GDS文件的保存，降低了磁盘空间的占用。
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公开(公告)号：CN117784328A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311724148.5
申请日：2023-12-15
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
IPC: G02B6/42
Abstract: 本发明公开了一种激光辅助坐标定位的光芯片耦合方法，该方法基于光芯片耦合系统，所述光芯片耦合系统包括第一调整架、第二调整架、CCD探测器、激光坐标定位机构和波导对准模块；所述第一调整架与所述第二调整器之间设有CCD探测器和激光坐标定位机构；所述CCD探测器一端与所述第一调整架连接，其另一端与所述激光坐标定位机构连接；所述激光坐标定位机构另一端与所述第二调整器连接；包括如下步骤：S101、第一调整架、第二调整架初始化；S201、光纤纤芯坐标获取过程；S301、芯片波导坐标获取过程；S401、对准光纤的光斑与芯片波导过程等过程；S501、耦合过程；本发明利用六维的光芯片耦合系统实现光纤的光斑与芯片波导坐标过程对准快速、精准光芯片耦合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117687153A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311605293.1
申请日：2023-11-29
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于薄膜滤波器的自由空间波分复用器，包括Z‑Block、凹槽阵列以及六个光纤准直器，Z‑Block包括平行基板和六个薄膜滤波片，薄膜滤波片用于透射特定波长的光，并反射其余波长的光，凹槽阵列包括六个定位凹槽，六个定位凹槽分为两列，且分别设置在平行基板的两侧，若干光纤准直器设置在凹槽阵列内，凹槽阵列用于固定光纤准直器的位置和角度，若干薄膜滤波片分别与若干准直器的入射端的位置对应，本发明利用分光器、Z‑Block、凹槽阵列以及多个光纤准直器的结合，通过小尺寸阵列，可以实现小尺寸的六通道波分复用器件。
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公开(公告)号：CN117631177A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311707095.6
申请日：2023-12-13
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
IPC: G02B6/42
Abstract: 本发明公开了一种双透镜耦合准直聚焦系统及方法，该系统将红外激光器芯片移动至准直透镜物方焦点的位置，在准直透镜另一侧放置聚焦透镜，在聚焦透镜像方焦点处放置硅基光波导芯片，从红外激光器芯片出射的发散光束，经准直透镜整形准直后，再经聚焦透镜聚焦到硅基光波导芯片端面，耦合进硅基光波导中。通过红外激光探测卡将肉眼不可见的红外光转为可见光，方便观察光斑状态，同时只需要前后平移红外激光探测卡便可以确定光斑是否达到最佳准直和聚焦状态，使耦合过程更加便捷、高效，无需使用光电探测器等复杂器件，减少电路，只需给激光器芯片通电即可，这一系统和方法同样适用于单透镜耦合。
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公开(公告)号：CN117631176A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311707094.1
申请日：2023-12-13
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
IPC: G02B6/42
Abstract: 本发明公开了一种红外成像辅助透镜耦合系统及方法，该系统包括红外激光器模块、透镜、反射镜、红外成像模块和硅基光波导模块，耦合步骤如下：红外激光器模块、透镜、硅基光波导模块、反射镜依次放置，红外相机在系统的正上方以及反射镜正前方各一个，从红外激光器芯片出射的发散光束，经透镜聚焦到硅基光波导芯片入射端面，耦合进硅基光波导中，光波导芯片出射端面的光斑经反射镜反射后成像在红外相机上，本发明中的红外相机可以捕获人眼不可见的红外光斑，能够快速的使激光芯片、透镜与波导对准并耦合，提高耦合效率，缩短对光时间。
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公开(公告)号：CN117534031A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311573708.1
申请日：2023-11-23
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种深层氧化硅刻蚀的形貌优化方法，包括步骤S1：样片清洗；步骤S2：芯层生长；步骤S3：PVD镀膜；步骤S4：掩膜层生长；步骤S5：掩膜层光刻；步骤S6：通过第一刻蚀工艺刻蚀沟槽，所述第一刻蚀工艺包括第一刻蚀气体、第一ICP功率和第一RF偏置功率；步骤S7：通过第二刻蚀工艺刻蚀沟槽，所述第二刻蚀工艺包括第二刻蚀气体、第二ICP功率和第二RF偏置功率；步骤S8：通过第三刻蚀工艺刻蚀沟槽，所述第三刻蚀工艺包括第三刻蚀气体、第三ICP功率和第三RF偏置功率。本发明公开的一种深层氧化硅刻蚀的形貌优化方法，实现刻蚀出高深宽比、高绝对深度、侧壁角度垂直和侧壁光滑的刻蚀结构。
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公开(公告)号：CN117509533A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311573710.9
申请日：2023-11-23
Applicant: 浙江大学绍兴研究院
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种深层氧化硅波导与沟槽的刻蚀工艺，对晶圆进行刻蚀并且需要刻蚀的晶圆自上而下依次包括光刻胶、浅层氧化硅、金属铬、深层氧化硅、石英衬底和背部金属铬，包括步骤S1：采用预设厚度的光刻胶作为浅层氧化硅的掩模版并且采用第一工艺参数进行第一道刻蚀工艺，第一道刻蚀工艺为：向腔体内部通入氟基气体，以对位于金属铬上层的浅层氧化硅进行等离子体刻蚀，从而将光刻胶上的图形转移至浅层氧化硅上。本发明公开的一种深层氧化硅波导与沟槽的刻蚀工艺，实现刻蚀出高深宽比、高绝对深度、侧壁角度垂直和侧壁光滑的刻蚀结构。
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