公开(公告)号：CN116518873A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202310464359.3

申请日：2023-04-24

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 宋金龙 ,  朱建国

IPC: G01B11/24 ,  G01B7/28 ,  H01L21/66

Abstract: 本申请公开了一种可判别 晶向和 晶向的晶圆翘曲度量测方法及设备，该方法包括：将待量测晶圆放置在三个支撑点上，三个支撑点构成顶角为45°的等腰三角形，使晶圆的中心与等腰三角形的外心重合，在晶圆上规划采集翘曲度的采样路径，沿采样路径采集得到晶圆的形貌信息，计算获得去干扰因素的翘曲度值，根据翘曲度值判定晶圆的晶向。这种量测方法适用于晶圆物料主要是 晶向及 晶向两种的工厂或企业，该方法可在量测晶圆形貌的同时进行晶向判定，相比现有技术中通过不同设备、工序分别对晶圆翘曲度量测和晶向判定，本申请提供的量测方法一举多得，操作步骤简单，检测效率高，判定准确可靠，贴合实际生产需求。

公开(公告)号：CN115358998B

公开(公告)日：2023-06-16

申请号：CN202211008652.0

申请日：2022-08-22

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 刘嘉琪 ,  宋金龙

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/73

Abstract: 本发明公开了一种随机阵列图片中点坐标的获取方法及系统，获取随机阵列图片并进行二值化处理，所述图片中包括由多个点组成的阵列；基于预设卷积核通过卷积计算将所述图片中处于同一行/列的点连接起来形成多行/列连通域；获取每个连通域的外接矩形，根据待检测点所对应的连通域的行数和列数，获取待检测点的行列坐标。可对在芯片阵列出现行数和列数不固定、中间也有可能出现缺漏，整体矩阵倾斜等情况时对阵列中瑕疵芯片的行列坐标进行确定，对阵列角度的要求较低，倾斜度可以在5度左右(取决于阵列点与点之间的距离)，并且整个算法中点的像素坐标都没有参与到确定位置中去，避免了阵列角度倾斜造成坐标的错位。

公开(公告)号：CN115638757A

公开(公告)日：2023-01-24

申请号：CN202211415218.4

申请日：2022-11-11

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 宋金龙 ,  朱建国

IPC: G01B21/02

Abstract: 本发明公开了一种硅片量测范围无限制的装置及方法，其中，装置包括硅片运载台、直线导轨、左滑台、右滑台、上探头、下探头、前角度旋转台以及后角度旋转台；两个直线导轨间隔且平行设置，左滑台滑动设置在左侧的直线导轨上，右滑台滑动设置在右侧的直线导轨上，硅片运载台安装在左滑台和右滑台的上表面，硅片运载台的中间开设有开口，硅片运载台的顶面设置有三个具有真空吸附功能的支撑点，上探头与下探头设置在两个直线导轨之间，上探头位于下探头的正上方，前角度旋转台和后角度旋转台分别位于下探头的前后侧，前角度旋转台和后角度旋转台的上端具有真空吸附、升降和旋转功能。