器件的制造方法和观察方法

    公开(公告)号:CN1601694A

    公开(公告)日:2005-03-30

    申请号:CN200410074250.6

    申请日:2004-09-03

    CPC classification number: G11B7/261 G11B7/00454 G11B7/00456

    Abstract: 在使用光或电子束的加工中,由被抗蚀剂吸收的光或电子的总量来决定反应性,因此不能进行微细加工。另一方面,虽然提出了热记录,但由于进行记录的光或电子束的光点大小不同,在加工尺寸的微细化上也存在限制。本发明提供通过使用碱溶液或者纯水,仅使在相变化光盘中使用的记录膜的结晶溶解或者剥离,而只残留非晶部分,使结晶和非晶图案变换成凹凸图案的方法。使高再现性制作微细图案成为可能。

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