公开(公告)号：CN1573301A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410045806.9

申请日：2004-05-20

Applicant: 株式会社日立制作所 ,  日立汽车技术有限公司

Inventor： 松本昌大 ,  山田雅通 ,  渡边泉 ,  半泽惠二 ,  中田圭一

IPC: G01F1/68

CPC classification number: G01F7/00 ,  G01F1/684 ,  G01F1/692 ,  G01F1/6986

Abstract: 一种热式空气流量计，在平板状基板(硅基板)(1)上形成的矩形状空间的热绝缘区域(2)的绝缘膜(6)上形成发热电阻体(4)，在发热电阻体(4)的上游侧与下游侧形成两个测温电阻体。矩形状空间的热绝缘区域(2)具有与空气流轴线平行的边的长度比与空气流轴线垂直的边的长度要长的结构。利用本发明，提供能够提高空气流量测定的灵敏度、减低发热体的消耗电力、同时扩大测定范围的热式空气流量计。