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公开(公告)号：CN110730870A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN110730869A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN108351062B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201680062176.7
申请日：2016-10-26
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 将硬度比配管的硬度高且是接头的硬度以下的第1环和硬度比接头的硬度高的第2环被配管插通。配管被插通到紧固部件中，配管的前端被插入到接头的第1凹部中。通过将紧固部件的螺纹部与接头的螺纹部螺合，被夹持在设置于接头的第1凹部上的第1接触面与设置在紧固部件的第2凹部上的第2接触面之间的第1环及第2环被朝向第1接触面推压，通过咬入到配管中而将配管固定。进而，被第1环及第2环固定的配管在推压力下向接头侧移动，将设置在接头的设置面上的节流孔板用配管的前端向设置面侧推压。由此，在将配管与配置节流孔板的接头连接的情况下，能够在包括节流孔板的多个部位保持接头内的流路的密闭性。
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公开(公告)号：CN110192054A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201780083256.5
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/44 , F16K1/32 , H01L21/3065
Abstract: 提供一种阀及半导体制造装置，其即使在高温下使用也不会产生烧熔等而能够长时间使用，并且不会污染腔室内。阀(1)具备：增力机构(30)，其增大驱动力；第一阀杆(25)及第二阀杆(26)，其承受增力机构(30)增大的力进行移动；以及隔膜(11)，其能够对流体通路(2b、2c)进行开关。增力机构(30)具备：保持器(31)及轴承(32)；轴(33)，其两端支撑于轴承(32)；以及臂(34)，其被轴(33)支撑成能够摆动，并具有承受驱动力的外端部(34C)和增大驱动力并向第一阀杆(25)传递的内端部(34B)，在保持器(31)、轴承(32)、轴(33)以及臂(34)中，构成利用臂(34)的摆动而产生的滑动部的轴(33)的两端部和轴承(32)之中，轴承(32)由碳纤维复合材料构成。
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公开(公告)号：CN106164549B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201680000963.9
申请日：2016-02-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16K31/122
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加，消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通过将第1隙间(A)设定为规定值而对隔膜按压件(7)向上方的移动量进行设定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108351062A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680062176.7
申请日：2016-10-26
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 将硬度比配管的硬度高且是接头的硬度以下的第1环和硬度比接头的硬度高的第2环被配管插通。配管被插通到紧固部件中，配管的前端被插入到接头的第1凹部中。通过将紧固部件的螺纹部与接头的螺纹部螺合，被夹持在设置于接头的第1凹部上的第1接触面与设置在紧固部件的第2凹部上的第2接触面之间的第1环及第2环被朝向第1接触面推压，通过咬入到配管中而将配管固定。进而，被第1环及第2环固定的配管在推压力下向接头侧移动，将设置在接头的设置面上的节流孔板用配管的前端向设置面侧推压。由此，在将配管与配置节流孔板的接头连接的情况下，能够在包括节流孔板的多个部位保持接头内的流路的密闭性。
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公开(公告)号：CN106164549A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201680000963.9
申请日：2016-02-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16K31/122
CPC classification number: F16K7/17 , F16K31/122 , F16K31/1221 , F16K31/1225
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加，消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通过将第1隙间(A)设定为规定值而对隔膜按压件(7)向上方的移动量进行设定。
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公开(公告)号：CN102678725A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210065635.0
申请日：2012-03-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
CPC classification number: F16B39/101 , F16B39/103 , Y10T29/49826 , Y10T29/53 , Y10T403/50
Abstract: 本发明涉及一种螺栓的防松装置及其安装方法以及安装夹具。本发明提供一种螺栓的防松装置，其部件的构造简化、且能够容易地进行安装作业。具有：分别以不能相对旋转的方式嵌合在多根螺栓(5)的各头部上的多个嵌合部件(2、3)；横跨多个嵌合部件(2、3)地被嵌合的卡合部件(4)。各嵌合部件(2、3)的外周面(2b、3b)为非圆形，在卡合部件(4)上设有与多个嵌合部件(2、3)的各非圆形外周面(2b、3b)对应的多个卡合孔(非圆形卡合部)(8a、8b)。
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公开(公告)号：CN100439780C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200480041489.1
申请日：2004-11-30
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122
CPC classification number: F16K7/14 , F16K31/1221
Abstract: 流体控制器(71)具备：自动开关时工作部件(75)，其通过向形成于套筒(73)内的压缩流体导入室(90)内进行压缩流体的导入或排出而上下移动，使阀芯压板(5)抵抗压缩螺旋弹簧(77)的弹压力移动至打开位置；手动开关时工作部件(74)，其通过手动操作而上下移动，通过被移动至下方而直接将阀芯压板(5)推压至下方。
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