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公开(公告)号：CN112640584B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN201880096882.2
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士
Abstract: 一种气体供给判定方法，是设有第一供给口和第二供给口的等离子体发生装置的气体供给判定方法，等离子体发生装置具备：第一供给装置，用于从第一供给口供给第一气体；及第二供给装置，与第一供给装置连接，用于从第二供给口供给第二气体，气体供给判定方法具备：第一供给工序，在停止由第二供给装置供给第二气体的状态下，开始由第一供给装置供给第一气体；第一计测工序，在第一供给工序之后，对供给到第一供给口的气体进行流量计测；及第一通知工序，根据第一计测工序的流量计测结果，通知第一供给口中的第一气体的供给状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112655280B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201880096922.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士
IPC: H05H1/28
Abstract: 等离子体发生装置具备：等离子体头，放出被等离子体化的等离子体气体；气体供给装置，将成为等离子体气体的气体供给至等离子体头；一对电极，设置于等离子体头，对从气体供给装置供给的气体的一部分进行放电而成为等离子体气体；温度传感器，设置于等离子体头，对等离子体头的温度进行计测；及控制装置，控制装置执行如下冷却处理：在使一对电极的放电停止之后，使气体供给装置持续供给气体来进行等离子体头的冷却，直至温度传感器计测到预定值以下的温度为止。
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公开(公告)号：CN114747299A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN201980102527.6
申请日：2019-12-24
Applicant: 株式会社富士
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明提供能够进行与漏电电流的产生状况对应的通知的等离子体装置。本公开的等离子体装置具备：电极，通过放电而产生等离子体；电源装置，生成向电极供给的电力；电力线缆，从电源装置向电极供给电力；漏电检测装置，检测电力线缆的漏电电流；及控制装置，基于对由漏电检测装置检测出的漏电电流与第一阈值进行比较的结果而执行第一通知，并基于对漏电电流与第二阈值进行比较的结果而执行第二通知。
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公开(公告)号：CN108886272B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201680083740.3
申请日：2016-03-25
Applicant: 株式会社富士
Abstract: 本发明的非接触供电装置以非接触方式从供电线圈向具备受电线圈的移动体供电，通过连结具备所述供电线圈的供电模块而向所述连结方向扩大能够向所述移动体供电的范围，所述非接触供电装置的特征在于，在至少一个所述受电线圈位于能够被至少一个所述供电线圈供电的位置时，从所述供电模块向供给交流电力的交流模块进行通信，并从所述交流模块向所述供电模块进行通信，使所述供电模块具备的半导体开关导通。
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公开(公告)号：CN112640584A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201880096882.2
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士
Abstract: 一种气体供给判定方法，是设有第一供给口和第二供给口的等离子体发生装置的气体供给判定方法，等离子体发生装置具备：第一供给装置，用于从第一供给口供给第一气体；及第二供给装置，与第一供给装置连接，用于从第二供给口供给第二气体，气体供给判定方法具备：第一供给工序，在停止由第二供给装置供给第二气体的状态下，开始由第一供给装置供给第一气体；第一计测工序，在第一供给工序之后，对供给到第一供给口的气体进行流量计测；及第一通知工序，根据第一计测工序的流量计测结果，通知第一供给口中的第一气体的供给状态。
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公开(公告)号：CN110476486A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201780089361.X
申请日：2017-04-04
Applicant: 株式会社富士
Abstract: 本发明提供一种信息处理装置，所述信息处理装置具备控制装置，该控制装置具有：取得部，按时间顺序取得向通过多个电极间的放电而产生等离子体的等离子体产生装置的所述多个电极供给的电流或者电压的指标值；运算部，基于由所述取得部取得的所述指标值，运算与所述指标值的变化相关的数值即变化值；存储部，存储预定的时机下由所述运算部运算出的所述变化值而作为特定变化值；第一判断部，每当通过所述运算部来运算所述变化值时，基于该变化值和所述特定变化值，判断运算该变化值时的电力供给状态是否成为所述预定的时机下的电力供给状态；及报告部，在由所述第一判断部判断为运算所述变化值时的电力供给状态成为所述预定的时机下的电力供给状态的情况下，报告预定的信息。
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