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公开(公告)号：CN108267094B
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201810029231.3
申请日：2018-01-12
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法，该系统包括菲索平面干涉仪、CGH柱面波转换器、待测非圆柱面、非圆柱面调整装置和精密转台；所述CGH柱面波转换器安装在精密转台上，并位于菲索平面干涉仪和待测非圆柱面之间，所述精密转台控制CGH柱面波转换器转动，使CGH柱面波转换器绕着自身的中心轴线旋转；所述待测非圆柱面安装在非圆柱面调整装置上；所述菲索平面干涉仪的光轴与CGH柱面波转换器的光轴重合，调整非圆柱面调整装置使待测非圆柱面的最佳拟合圆柱轴线与CGH柱面波转换器衍射的柱面波前的焦轴线重合。另外本发明的测量方法能够显著降低非圆柱面离轴子孔径的像差，准确测量非圆柱光学元件的面形误差。
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