衍生自降冰片二烯和马来酸酐的聚合物及其用途

    公开(公告)号:CN108473749B

    公开(公告)日:2019-11-26

    申请号:CN201680076530.1

    申请日:2016-12-30

    Abstract: 本发明公开了包括含有降冰片二烯和马来酸酐单体的聚合物且可用于形成各种可光图案化结构的一系列组合物的实施方式并对其主张权益。所述组合物可用作永久性介电材料。更具体而言,本发明公开包括含有各种降冰片二烯、马来酸酐、马来酰亚胺及降冰片烯型环烯烃单体的一系列三元和四元聚合物以及光活性化合物的组合物的实施方式,其中马来酸酐的全部或局部水解,即开环且全部或局部酯化,本发明的组合物可用于形成在各种电子材料应用等各种其他用途中有用的永久性介电材料。

    负型感光性组合物
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109313388B

    公开(公告)日:2022-06-21

    申请号:CN201780037257.6

    申请日:2017-06-13

    Inventor: L·F·罗德

    Abstract: 包含含有酸性侧基的聚合物的各种组合物与一个以上的反应性烯属化合物和光产酸剂组合来形成可自成像负型薄膜。此类聚合物的例子包括包含具有酸性侧基的降冰片烯型重复单元的聚合物和共聚物、开环马来酸酐聚合物、聚丙烯酸、聚羟基苯乙烯聚合物等。由此类组合物形成的薄膜提供用于微电子器件、光电子器件及其他应用中的可自成像、低k及热稳定的层。

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