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公开(公告)号：CN107817456A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710899441.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 扬州大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明公开一种基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器，包括压电基片(1)、蚀刻在压电基片(1)上的声表面波谐振器、蚀刻在压电基片(1)上的平面磁感应线圈(8)，所述平面磁感应线圈(8)环绕在声表面波谐振器外围，平面磁感应线圈(8)的内端依次通过直流偏置电极(44)、直流偏置跨连过桥(94)与声表面波谐振器相连，其外端与蚀刻在压电基片(1)上边缘处的直流偏置接地电极(104)相连。本发明的基于声表面波谐振器的单片集成磁感应传感器,集成度高、容易生产加工。
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公开(公告)号：CN107356997A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710554696.6
申请日：2017-07-10
Applicant: 扬州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开一种多倍频栅条型周期栅阵制备方法，包括如下步骤：(10)基准栅条获取：在基片上通过一次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光，剥离，得到基准组栅条；(20)重复栅条获取：在已得到基准组栅条或者已得到基准组栅条和部分重复组栅条的基片上，通过二次移动周期栅阵光刻掩膜版、二次曝光、剥离，得到一组重复组栅条；(30)栅条阵列获取：重复步骤(20)重复栅条获取，制备所需组数的重复组栅条，得到多倍频栅条型周期栅阵。本发明的多倍频栅条型周期栅阵制备方法，工艺技术及设备要求低、制造成本低。
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公开(公告)号：CN101388507B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200810122745.X
申请日：2008-06-27
Applicant: 扬州大学
Abstract: 电脑有源音响的智能通断电专用插座，涉及一种电源插座的电路结构技术，包括电脑音频电平信号放大与整流滤波电路、判断有无音频电平信号的比较器电路、继电器驱动电路和通过常开的继电器触点连接在交流输入电压两端的音响工作电源插座；所述判断有无音频电平信号的比较器电路的信号输入端连接在电脑音频电平信号放大与整流滤波电路的输出端，继电器驱动电路连接在判断有无音频电平信号的比较器电路的输出端。本发明通过电脑音频电平信号来自动控制有源音响电源的开关电路，当电脑无音频电平信号输出时，经延时后自动断开有源音箱电源，能够避免故障发生，节约用电。
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公开(公告)号：CN101388506B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200810122744.5
申请日：2008-06-27
Applicant: 扬州大学
Abstract: 智能通断电的电饭煲插座，涉及电器件技术领域。本发明供电电路连接在交流输入电压的两端，电饭煲工作电流放大与整流电路连接电饭煲工作电流，电饭煲加热和保温状态判断比较电路的输入端连接电饭煲工作电流放大与整流电路的输出端，延时通电、自动断电电路的输入端连接电饭煲加热和保温状态判断比较电路的输出端，电饭煲工作电源通电控制电路连接延时通电、自动断电电路的输出端。本发明能在无人看管的情况下煲饭和自动断电，使用该智能通断电的电饭煲插座在一定程度上能够避免火灾隐患和电器故障发生，也能节约电能。
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公开(公告)号：CN110360995B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201910692028.9
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明涉及一种谐振器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定于基板顶面的4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片，制作于基板顶面的1个输入导引电极、8个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作于基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线；所述4个偏轴双端对声表面波谐振器芯片分别为第一偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第二偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第三偏轴双端对声表面波谐振器芯片、第四偏轴双端对声表面波谐振器芯片。通过本发明，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。采用复合结构声表面波谐振器作为敏感元件的双轴陀螺，用于感测正交双轴角运动，结构简单，制作方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111323616B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010135124.6
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , B81C1/00 , B81B3/00
Abstract: 本发明公开了一种单质量块三轴MEMS惯性加速度计，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面四边的空腔基板底面键合环与底板顶面四边的底板键合环金金键合，悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面四边的空腔基板顶面键合环金硅键合，使各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中，顶板底面四边的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明采用单质量块惯性敏感方式和平面平行板电容检测方式，总体结构简单、制备过程简便，各个轴向加速度的感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN111333021A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010135105.3
申请日：2020-03-02
Applicant: 扬州大学
IPC: B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01C19/5656 , G01C21/18 , G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种单质量块平面三轴MEMS惯性传感器，包括自下而上依次键合的底板、空腔结构层、质量块与悬臂梁结构层、顶板；空腔结构层底面的空腔基板底面键合环与底板顶面的底板键合环金金键合；悬臂梁固支边框的底面与空腔结构层顶面的空腔基板顶面键合环金硅键合，各个悬臂梁悬置于空腔之上并使质量块悬置于空腔之中；顶板底面的接地引出电极与悬臂梁固支边框顶面的接地电极金金键合，最终形成一个气密封闭结构，本发明总体结构简单、制备过程简便，感测灵敏度和感测精度高。
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公开(公告)号：CN110360994A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910692006.2
申请日：2019-07-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明涉及一种滤波器型声表面波双轴陀螺，包括基板，固定在基板顶面的4个U形声表面波滤波器芯片，制作在基板顶面的1个输入导引电极、4个输出导引电极和若干个接地导引电极，制作在基板底面的1个输入电极、4个输出电极和接地面，贯穿基板的若干个金属过孔以及键合引线。通过本发明，扩展波束与主波束一样均属于沿压电基片纯模方向传播的声表面波行波，所感测到的声表面波波束的幅度相对较大，相应的输出高频信号的幅度也较大，因而相应的旋转角运动角速度的感测灵敏度和精度也较高，同时免去了为提高感测灵敏度而在第一声表面波驻波区设置的金属点阵，简化了双轴陀螺的设计、结构和制备工艺。
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公开(公告)号：CN107986226A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711347091.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 扬州大学
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0027 , B81B2203/05
Abstract: 一种动态自平衡结构，属于基于微机电系统（MEMS）的自动控制技术领域，包括上基板，在上基板的顶面设置四个电阻条、四个双端固支悬挂电极和四个上基板顶面接地电极；在上基板的底面设置四个下拉电极上电极、四个分压电阻、环形直流偏置电极和上基板底面环形接地电极，在上基板的底面中央固定连接球形铰链半球形基座，在上基板上设置直流偏置金属通孔和接地金属通孔；在上基板的下方设置下基板，在下基板的顶面设置四个下拉电极下电极、直流偏置输入电极、直流接地电极、下基板顶面环形接地电极和接地电极连接导线，在下基板上固定连接球形铰链球形体。本发明实时感知并调整结构所在平面相对于水平面的偏离，实现结构的动态自平衡。
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公开(公告)号：CN107907103A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201711346349.0
申请日：2017-12-15
Applicant: 扬州大学
CPC classification number: G01C9/00 , B81B7/02 , B81B2201/02
Abstract: 一种声表面波双轴倾角感测结构，属于微机电传感技术领域。在硅单晶基片背面制作多个声表面波谐振器组，在硅单晶基片正面制作正对各个声表面波谐振器的输入/输出电极对，各个输入/输出电极对阵列上方制作双端固支悬挂电极，依据基片的倾斜角度，分别与对应的输入/输出电极对阵列中的其中一个输出电极接触，或者与对应的输入/输出电极对之间的间隙接触，连通或者不连通对应的声表面波谐振器与输出信号电极，输出或者无输出相应谐振频率的谐振信号，可得到所述声表面波双轴倾角感测结构基片所处的平面状态与水平状态的双轴倾角。
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