感光性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、层叠体及器件

    公开(公告)号:CN113383273A

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN201980079866.7

    申请日:2019-11-29

    Abstract: 一种感光性树脂组合物、使用由上述感光性树脂组合物形成的感光膜的图案形成方法、由上述感光性树脂组合物形成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体及包含上述固化膜或上述层叠体的器件,所述感光性树脂组合物包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种前体、具有亚硫酸酯结构的化合物及光自由基聚合引发剂,且满足下述条件1~条件3中的至少1个,条件1:上述前体包含自由基聚合性基团;条件2:上述具有亚硫酸酯结构的化合物包含自由基聚合性基团;条件3:上述感光性树脂组合物还包含除了上述前体及上述具有亚硫酸酯结构的化合物以外的含有自由基聚合性基团的化合物。

Patent Agency Ranking