公开(公告)号：CN216749822U

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202123381140.2

申请日：2021-12-29

Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司

Inventor： 李春风 ,  张德龙 ,  戴梦德 ,  孟二超

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型涉及了一种半导体用微工厂设备，包括：常压加工设备；常压设备箱体，所述常压加工设备设于所述常压设备箱体中；所述常压设备箱体包括内保护层机构、外保护层机构，所述内保护层机构、所述外保护层机构两者均为设有金属层的绝热保护层结构、且两者之间围设构成气流缓冲层；温度补偿单元，与所述常压加工设备所在的加工区域连接，用于补偿所述加工区域内设备功率变化引起的温度波动；灰尘过滤单元，设于所述常压设备箱体中。通过上述设置，可解决目前半导体工厂中无尘恒温厂房建设投资巨大的问题。

公开(公告)号：CN211906981U

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN202020216426.1

申请日：2020-02-26

Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司

Inventor： 李春风 ,  戴梦德

IPC: G21F5/12 ,  G21F7/04

Abstract: 本实用新型公开了一种密封箱，本实用新型创造性的提出双层密封箱体的结构，使得气密性得到进一步加强，可以满足更严苛的防泄漏的应用场景，并且，第二密封腔体的气压大于第一密封腔体的气压，更加保证第一密封腔体中的有害物质不能向外泄漏，进一步提高了安全性。另外，由于第二密封腔体的容积很小，因此需要的气压控制装置的功率较小，进而，由于P2和P1之间的差值小于P1和密封箱外部气压之间的差值，因此，第一密封腔体的气压控制装置的功率也可以选择小于现有技术中密封箱需要的气压控制装置的功率，特别是大型密封箱，气压控制装置的功率可以有较大的降低，从而节约成本和降低运行能耗。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN211906977U

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201922489673.9

申请日：2019-12-31

Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司

Inventor： 李春风 ,  戴梦德

IPC: G21F1/02 ,  F16J15/02

Abstract: 本实用新型公开了一种密封箱门组件及密封箱，用于开启或密封密封箱，包括用于与密封箱门密封对接的第一重门，和设置于第一重门外侧的第二重门；在关闭密封密封箱门时，第一重门与密封箱密封对接，所述第二重门以自身部分或全部重力对第一重门施加侧向压力，将第一重门推向密封箱。本实用新型通过双重门结构，并利用第二重门的重力对第一重门进行施压，确保密封箱操作空间中的纯净度，有效隔断由于缝隙或是细微扩散存在而可能出现的外部物质泄漏侵入，气体纯度得到有效控制。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207562622U

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201721674250.9

申请日：2017-12-05

Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司

Inventor： 张德龙 ,  李春风 ,  戴梦德

IPC: B01D53/04

Abstract: 本实用新型提供一种净化柱，包括一壳体，在所述壳体内包括至少一个净化单元，净化单元可装填不同类型净化材料，或者包括多个填充有净化材料的净化子单元，实现多种吸附功能，相当于多柱可串可并，灵活多变以满足现在使用者多样式复杂工艺需求，甚至使用者可以自行根据需求自由选择，安全性经济性更好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN205497537U

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201620239537.8

申请日：2016-03-25

Applicant: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司

Inventor： 张德龙 ,  戴梦德

IPC: B25J21/02

Abstract: 本实用新型公布了一种可实现三个以上手套箱互联互通的手套箱互联多通仓。其解决的技术问题是目前只有可以将两个手套箱对接传递物品的T型仓，而没有将三个以上手套箱相连接的装置。本手套箱互联多通仓，包括设有三个以上连接口的过渡仓、设于过渡仓内壁上的导轨及可在导轨上移动的托盘。本手套箱互联多通仓可实现三个以上手套箱之间物品的传递，也可实现每个手套箱与外部的传递，且体积小巧、结构简单、成本较低。