公开(公告)号：CN209181505U

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201821842340.9

申请日：2018-11-09

Applicant: 郑州大工高新科技有限公司 ,  大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院

Inventor： 李朝阳 ,  张留新 ,  樊利芳 ,  阮诗伦 ,  王新宇

IPC: F27B9/06 ,  F27B9/30

Abstract: 本实用新型公开了一种设有内衬板的新型石墨烯隧道窑，包括窑体，窑体形成的窑腔表面设有石英或刚玉制成的上衬板、左衬板和右衬板，上衬板、左衬板和右衬板均设有圆弧形凸起；窑腔的上表面、左侧面和右侧面设有与圆弧形凸起相适配的凹槽。上衬板下表面设有与左衬板和右衬板半圆弧形顶端形状相适配的两条凹槽，窑体下部设有与左衬板底端和右衬板半圆弧形底端形状相适配的两条凹槽。上衬板、左衬板和右衬板与窑腔表面通过耐高温密封胶密封。石墨烯隧道窑气相沉积烧成中，增加硅质耐火材料或刚玉质耐火材料制成的内衬板，把传统的内衬耐火砖和反应气氛隔绝开，气相反应物不易沉积在窑腔传统内衬的耐火砖上，解决气相反应物在窑腔内衬上沉积的问题。

公开(公告)号：CN208776835U

公开(公告)日：2019-04-23

申请号：CN201821366077.0

申请日：2018-08-23

Applicant: 郑州大工高新科技有限公司 ,  大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院

Inventor： 张留新 ,  李朝阳 ,  樊利芳 ,  王新宇 ,  阮诗伦

IPC: C23C16/44

Abstract: 本实用新型提供的一种工业化化学气相沉积装置，包括多个依次相连接的腔体，所述的多个依次相连接的腔体从前往后依次为前置换室、预热室、反应室、冷却室和后置换室，所述前置换室的前壁、后置换室的后壁及各腔体之间相连接处均设置有闸门，各个腔体的侧壁上均设置有进气口和出气口，各腔体内均设置有传送装置和温度传感器，所述的传送装置用于相邻腔体之间的物料传送，所述预热室和反应室内均设置有加热装置，所述冷却室内设置有冷却装置。本实用新型提供的一种工业化化学气相沉积装置能够适用于不同尺寸的基材，不受管式炉管径的限制，能够分批次连续进行纳米材料或涂层的生长，可满足工业化生产的需要，且生产效率高，保护气体使用量少。