一种RF MEMS开关的太赫兹可编程超表面单元

    公开(公告)号:CN119764834A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411701196.7

    申请日:2024-11-26

    Abstract: 本发明公开了一种RF MEMS开关的太赫兹可编程超表面单元,属于通信技术领域,包括:第二衬底;正极控制线;背覆地;第一衬底;直流接地柱;上贴片;信号线;RF MEMS开关;直流偏置线结构。通过直流电压变化来控制开关的断开与导通,实现超表面单元180°反射相位差,本发明达到了技术效果:(1)180°反射相位差工作带宽大,在285GHz到320GHz,反射相位差范围在172°到193°;(2)反射相位高线性度,在285GHz到320GHz,开关down态时的反射相位范围在117°到52°,开关up态时的反射相位范围在‑53°到‑129°;(3)加工工艺要求低,开关的第二层锚点和下电极分别采用偏置线相连,减少电极打孔数量;(4)偏置线部分使用金属,减小偏置线的分压,降低驱动电压。

    一种低应力太赫兹RF MEMS开关
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118630439A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410898535.9

    申请日:2024-07-05

    Abstract: 本发明公开了一种低应力太赫兹RF MEMS开关,属于射频微机电系统技术领域,包括:背覆金属;衬底;共面波导信号线;共面波导地;下电极;梁锚点;上金属梁锚点;上金属梁,和所述上金属梁锚点通过圆弧相接;上金属电极;信号桥;裙边梁;电极介质层;直流馈电结构;空气桥。本发明达到了技术效果:使用裙边梁结构,开关下拉变形后应力分布均匀,减小开关翘曲变形;梁中通过圆弧相接,无应力集中,具有低驱动电压;圆弧相接增大了相接处长度,减小开关循环造成的断裂风险,提高开关疲劳寿命;采用复合梁结构,使得电极和信号桥分离,减少直流电对射频信号的干扰;开关在太赫兹频段具有较好隔离度和低插入损耗。

    一种紧凑型新型RF MEMS串联电容开关

    公开(公告)号:CN119865157A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202411944959.0

    申请日:2024-12-27

    Abstract: 本发明公开了一种紧凑型新型RF MEMS串联电容开关,属于射频微机电系统技术领域。本发明所述开关包括背覆金属、衬底、负极非金属直流偏置线、仿真空气桥、直流端口、正极非金属直流偏置线、右下层锚点、缺陷共面波导地、共面波导信号线、电极介质层、右上层锚点、金属悬臂梁、二氧化硅裙边梁、左锚点、正极金属偏置线、金属梁和信号桥。本发明所述开关将上电极集成到信号桥,形成串联电容开关结构,能够减小开关尺寸;金属悬臂梁使用单端供直流电,供电结构简单,采用悬臂金属梁和固定支撑二氧化硅梁的复合结构,避免悬臂梁产生的开关翘曲并提供回复力;开关工作带宽大,开关隔离度大,插入损耗小;设计的缺陷共面波导地和直流端口隔离结构,能够防止开关在高压下击穿或短路后爆炸,损毁射频探头和其他相邻器件。

    一种太赫兹波段MEMS复合梁开关
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116799451A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310783506.3

    申请日:2023-06-29

    Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段MEMS复合梁开关,属于射频前端器件技术领域。其由直流端口金属块,直流偏置线,微带线匹配结构,复合梁,中间导通结构,金属电极,氮化硅绝缘层,硅基衬底,金属地组成。该开关为复合固支梁电容式开关,复合梁由二氧化硅材料固支梁及吸附在其下方的金属梁组合而成,直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极,可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态,分别对应着开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段350GHz频率以下实现高隔离度:微秒量级的响应时间,且不易发生破坏性形变;结构简单、制造方便,可以通过硅基工艺进行制造。

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