基于高精度同步多测尺的半导体激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104035087B

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201410263610.0

    申请日:2014-06-14

    Abstract: 基于高精度同步多测尺的半导体激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和半导体激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以 作为精测尺;步骤四、以 作为粗测尺;步骤五、移动测量棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾多测尺的同步性和可溯源性的装置与方法的问题,具有测距精度高、测量效率高、稳定性和实时性强的特点。

    高精度同步混合外差式相位激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104155643B

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201410263609.8

    申请日:2014-06-14

    Abstract: 高精度同步混合外差式相位激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和双纵模稳频He-Ne激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以 作为精测尺;步骤四、以 作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾多测尺的同步性和可溯源性的装置与方法的问题,具有测距精度高、测量效率高、稳定性和实时性强的特点。

    同心共面四等分环-四等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置

    公开(公告)号:CN104034256B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201410179252.5

    申请日:2014-04-28

    Abstract: 同心共面四等分环?四等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置属于角度测量技术,其中传感器单元的环形共面电容测头由四个四分之一圆形金属板和四个四分之一圆环形金属板组成,八块金属板共面同心,四个四分之一圆环形金属板沿周向均匀分布且与四个四分之一圆形金属板一一对应、形成电容,将此环形共面电容测头安置于圆形绝缘基板上,圆形绝缘基板作为圆柱体容器底面,并将此圆柱体容器横置,在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体,电位引线将八块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连,电容测量单元与倾角计算单元连接;容器发生倾斜时,环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化,通过测量电容容值的变化,可求得倾角值。

    光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置

    公开(公告)号:CN103777308B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201410051637.3

    申请日:2014-02-14

    Abstract: 光刻机双频激光干涉仪垂向测量光路反射镜调整装置属于光学元件调整技术领域;该装置包括反射镜、反射镜座、两个调整脚座总成、一个固定脚座总成,反射镜粘接在反射镜座上并通过三个拉簧补偿反射镜的重力变形,在反射镜座上安装有两个调整脚座总成和一个固定脚座总成,通过调整脚座和固定脚座上的防脱螺钉将反射镜座安装在测量框架上,通过调节调整脚座的差分螺钉可以实现反射镜座相对测量框架的调整,实现反射镜的调整;本发明调整精度高、结构简单,并且具有锁紧功能。

    抗多频混叠的高精度同步测尺半导体激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104049250B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201410263639.9

    申请日:2014-06-14

    Abstract: 抗多频混叠的高精度同步测尺半导体激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、抗混叠测量光路和相位测量单元组成;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和偏频锁定半导体激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了超长波长和超短波长的不能同步产生,激光测尺不可直接溯源和非线性周期误差和频率混叠的问题,具有测量效率高、精度高、稳定性和实时性强的特点。

    混合外差式可溯源精测尺He-Ne激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104035086B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201410263608.3

    申请日:2014-06-14

    Abstract: 混合外差式可溯源精测尺He-Ne激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和双纵模稳频He-Ne激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以 作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差和,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾多测尺的同步性和可溯源性的装置与方法的问题,具有测量效率高、测量精度高、稳定性和实时性强的特点。

    中继式飞秒脉冲高精度位移探测方法

    公开(公告)号:CN105674892A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610084875.3

    申请日:2016-02-06

    CPC classification number: G01B11/02

    Abstract: 中继式飞秒脉冲高精度位移探测方法属于引力波探测领域,该方法采用了脉冲时域锁定式中继测量结构,通过三个飞秒锁相中继器的级联对测量光的光功率进行放大,将系统回光功率由被测距离的四次方衰减函数变为了平方衰减函数,实现了外太阳系尺度的超远距离动态位移探测;通过光延迟线扫描实现了亚纳米级位移探测灵敏度;测量端和三个飞秒锁相中继器之间相对独立,避免了相距遥远的卫星间的实时通信和高精度时钟同步问题。

    混合外差式多频抗混叠激光测距装置与方法

    公开(公告)号:CN104048642B

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201410263632.7

    申请日:2014-06-14

    Abstract: 混合外差式多频抗混叠激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、抗混叠测量光路和相位测量单元组成;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和偏频锁定半导体激光器和He-Ne激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以 作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了超长波长和超短波长的不能同步产生,激光测尺不可直接溯源和非线性周期误差和频率混叠的问题,具有测量效率高、精度高、稳定性和实时性强的特点。

    基于双频激光无偏分光的光电接收器温度系数测试方法

    公开(公告)号:CN103292913B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201310190830.0

    申请日:2013-05-11

    Abstract: 基于双频激光无偏分光的光电接收器温度系数测试方法属于激光应用技术,该方法采用双频激光作为光源,利用无偏分光棱镜进行分光,测试待测光电接收器在不同温度下与参考光电接收器之间的相位差,得到待测光电接收器的温度系数;本方法的优点在于测试中参考光束与测量光束的相位不受外界环境变化影响,不引入额外相位误差,测试准确度高。

    基于可溯源同步多测尺的混合激光器测距装置与方法

    公开(公告)号:CN105318839A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201410263657.7

    申请日:2014-06-14

    Abstract: 基于可溯源同步多测尺的混合激光器测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、扩束准直镜组、测量光路及电路单元;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和半导体激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了相位激光测距技术中缺少一种能兼顾多测尺的同步性和可溯源性的装置与方法的问题,具有测距精度高、测量效率高、稳定性和实时性强的特点。

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