公开(公告)号：CN112229878B

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202010011995.7

申请日：2020-01-07

Applicant: 南通大学

Inventor： 尹海宏 ,  赵晨媛 ,  王志亮 ,  宋长青 ,  施天宇 ,  印川

IPC: G01N27/12 ,  G01N27/22 ,  C23C14/04 ,  C23C14/14

Abstract: 本发明揭示了一种三电极结构的湿度传感器芯片，该湿度传感器芯片包括湿度敏感模块、测量电路模块、微处理单元MCU；湿度敏感模块包括湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极；湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极构成三电极结构的湿度敏感型电容‑‑电阻复合结构；第一电极、湿度敏感材料、衬底、第三电极构成电容器结构，湿度敏感材料、衬底为电容器的复合介电层；第二电极、湿度敏感材料、衬底、第三电极也构成电容器结构，湿度敏感材料、衬底为电容器的介电层；第一电极、湿度敏感材料、第二电极构成湿度敏感电阻（湿敏电阻）结构，湿度敏感材料作为湿度敏感电阻（湿敏电阻）的湿度敏感材料；所述衬底是具备压电效应的晶体材料。