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公开(公告)号:CN2834009Y
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200520074071.2
申请日:2005-07-28
Applicant: 南通大学
Abstract: 本实用新型公开了一种纳米步长步进式驱动器,其特征是:有三个滑套在导柱上的压电陶瓷环,驱动压电陶瓷环处于中间,两端分别与刹车压电陶瓷环相连,三个压电陶瓷环上连接有接线头。其有益效果为:由于压电陶瓷伸缩与所加电压有严格线性关系,驱动精度高,且可以通过编程令驱动器连续作几个步长的驱动,从而得到较大值的位移。由于压电陶瓷的特性,本驱动器有较大的驱动能力。本驱动器适用于各种微小机械,可作为集成电路刻线装置中的驱动,光学仪器中的精细微小量位移等。