一种经氧等离子刻蚀的二氧化锆薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN113584450A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202110893028.2

    申请日:2021-08-04

    Abstract: 本发明涉及薄膜制备技术领域,尤其是一种经氧等离子刻蚀的二氧化锆薄膜及其制备方法,现提出如下方案,其包括在基体上经过氧等离子刻蚀过的表面侧制备覆盖在所述表面侧的二氧化锆薄膜。本发明提出一种将基体先经过氧等离子刻蚀,再用磁控溅射实现二氧化锆在经过刻蚀基体上的表面沉积的方法,这种方法制备得到的二氧化锆薄膜性能好,尤其是经过等离子刻蚀后力学性能等到提升,表面粗糙度降低,同时制备方法简单,可以实现大规模制备。

    一种氧化物透明电极薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106756792B

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201611253177.8

    申请日:2016-12-30

    Abstract: 本发明涉及一种氧化物透明电极薄膜的制备方法,在石英片上利用双层辉光等离子溅射反应成膜的方法实现低熔点氧化锌透明电极薄膜的制备。本发明以低熔点金属元素为靶材,为了提高元素及氧元素反应的供应量和供应效率,在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电,成膜仅需要10‑30min。本发明通过低熔点金属元素和氧元素的溅射反应形成大面积高质量的氧化物透明薄膜电极,薄膜的厚度在5‑10微米。本发明得到的薄膜表面质量高,具有高度的c轴(002)取向,在可见光波段平均透过率能够达到80%以上,并且薄膜能有效的屏蔽紫外光。该方法所制备的氧化物薄膜表面质量高、工艺可控性好、制备快速、成本低,尤其适合大面积快速制备。

    一种多功能落球法冲击试验机

    公开(公告)号:CN207570940U

    公开(公告)日:2018-07-03

    申请号:CN201721651725.2

    申请日:2017-12-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种多功能落球法冲击试验机,包括立杆,三脚支架,夹板,可拆卸组合板,电磁铁吸球器,钢球,光电门,电脑计时器;所述立杆底端连接在三角支架上,立杆顶端设有电磁铁吸球器,电磁铁吸球器用于吸引钢球不掉落,电磁铁吸球器下方立杆上依次设有上方光电门、可拆卸组合板和下方光电门、网篓;所述可拆卸组合板为两块大小形状相同的支撑板,两块板对称安装在立杆两侧,所述夹板用来夹紧试样,然后置于组合板上,所述下方光电门紧挨着可拆卸组合板;所述光电门,电磁铁吸球器与电脑计时器连接,并通过电脑计时器控制电磁铁吸球器开关控制钢球降落,同时记录实验数据。

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