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公开(公告)号：CN119560343A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411651917.8
申请日：2024-11-19
Applicant: 辽宁工业大学 , 中国电子科技集团公司第五十四研究所 , 北京邮电大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了一种低驱动电压的太赫兹波段复合梁RF MEMS开关，属于射频前端器件领域。由直流端口金属块，直流偏置线，微带线匹配结构，复合梁MEMS开关，复合梁中间导通结构，复合梁的金属电极，氮化硅绝缘层，石英玻璃衬底，共面波导金属地和金属地组成。该复合梁MEMS开关由二氧化硅材料固支梁和吸附在其下方的金属梁组合而成，直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极，可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态，分别对应着开关的断开状态与导通状态。复合梁MEMS开关工作在140GHz以下实现低驱动电压、低插入损耗、高隔离度。微秒量级的反应时间，且不易发生破坏性形变，结构简单，易于制造。
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公开(公告)号：CN118249794A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410320830.6
申请日：2024-03-20
Applicant: 北京邮电大学 , 中国电子科技集团公司第五十四研究所 , 喀什地区电子信息产业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于复合梁的单刀四掷MEMS开关，属于射频前端器件技术领域。主要结构为输入微带线，渐变匹配结构，中间导通结构，输出微带线，玻璃基衬底，金属电极，梁底座与悬梁共同组成的复合梁，金属地组成。此开关属于欧姆接触式开关，复合梁结构包括二氧化硅材料悬梁和金材料梁底座。各支路开关通过直流电压驱动金属电极，可以控制复合梁的悬停状态与接触渐变匹配结构与输出传输线的贴合状态，分别对应着本路开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段140GHz频率以下实现高隔离度：微秒量级的响应时间，且不易发生破坏性形变；结构简洁、制造方便，能够通过玻璃基工艺进行制造。
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公开(公告)号：CN117498004A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311566459.3
申请日：2023-11-23
Applicant: 中国电子科技集团公司第五十四研究所 , 北京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS开关控制的频率可重构天线，属于射频前端器件领域。其由介质板，天线金属层，和六个MEMS射频开关组成，其中天线的贴片结构由金属环形结构和直线臂结构共同构成，金属环形结构作环形天线，在环形上一处引出两条有一定间距的信号线，由SMA信号输入端口馈电，一条信号线与信号相连，一条接地；两个串联开关，四个并联开关分布在天线结构上。本发明通过调节开关状态，可实现中心频率为1.9GHz,2.1GHz,2.8GHz和5GHz的共计四种L波段到C波段的频率模式重构；每种模式阻抗带宽大于10％，辐射效率大于90％；结构简单、制造方便，可以通过加工工艺进行制造，便于集成。
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公开(公告)号：CN116799451A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310783506.3
申请日：2023-06-29
Applicant: 中国电子科技集团公司第五十四研究所 , 北京邮电大学 , 电子科技大学(深圳)高等研究院
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段MEMS复合梁开关，属于射频前端器件技术领域。其由直流端口金属块，直流偏置线，微带线匹配结构，复合梁，中间导通结构，金属电极，氮化硅绝缘层，硅基衬底，金属地组成。该开关为复合固支梁电容式开关，复合梁由二氧化硅材料固支梁及吸附在其下方的金属梁组合而成，直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极，可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态，分别对应着开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段350GHz频率以下实现高隔离度：微秒量级的响应时间，且不易发生破坏性形变；结构简单、制造方便，可以通过硅基工艺进行制造。
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