公开(公告)号：CN211954036U

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202020790141.9

申请日：2020-05-13

Applicant: 上海机电工程研究所 ,  北京理工大学 ,  北方工业大学

Inventor： 李艳红 ,  柴娟芳 ,  赵吕懿 ,  沈涛 ,  朱炜 ,  陈强华 ,  刘斌超 ,  荆娜 ,  张琰 ,  冯晓晨 ,  田义 ,  杨扬 ,  周麟

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800，转台520为待测量件，转台反射件510设置在转台520上，双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型容易实现共光路结构，使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性，实现了光隔离的功能，有效防止回授光带来的双频激光头失稳，相位传感器没有读数的问题；本实用新型可获得更高的测量精度，适合五轴转台的现场校准需求。