公开(公告)号：CN119364839A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411292813.2

申请日：2024-09-14

Applicant: 北京大学

Inventor： 吴恒 ,  彭莞越 ,  王润声 ,  黎明 ,  黄如

IPC: H10D84/01 ,  H10D84/85

Abstract: 本申请提供一种堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件。方法包括：在半导体衬底上一次刻蚀形成堆叠结构，堆叠结构包括有源结构和第一牺牲层；在栅极区域内，形成覆盖堆叠结构的伪栅结构；刻蚀未被伪栅结构覆盖的堆叠结构，以形成第一深槽；基于栅极区域内的第一有源结构，在第一深槽内外延生长出第一源漏结构；去除伪栅结构和第一牺牲层，以暴露栅极区域内的有源结构；在被暴露出的有源结构上沉积栅极介质材料，以形成栅介质层；在第一栅介质层之上沉积金属材料，以形成第一栅电极层；倒片并去除半导体衬底；基于栅极区域内的第二有源结构，在第一深槽内外延生长出第二源漏结构；在第二栅介质层之上沉积金属材料，以形成第二栅电极层。

公开(公告)号：CN119325273A

公开(公告)日：2025-01-17

申请号：CN202411295018.9

申请日：2024-09-14

Applicant: 北京大学 ,  北京知识产权运营管理有限公司

Inventor： 吴恒 ,  彭莞越 ,  付麒力 ,  吴旭升 ,  周发龙 ,  王润声 ,  黎明 ,  黄如

IPC: H10D84/01 ,  H10D84/85 ,  H10D88/00

Abstract: 本申请提供一种堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管、器件及设备，该方法包括：在衬底上形成鳍状结构；对鳍状结构和衬底进行热氧化处理，以形成输入/输出氧化绝缘层；在输入/输出氧化绝缘层上沉积第一绝缘材料，形成绝缘隔离层；基于第一鳍状结构，形成第一晶体管；倒片并减薄衬底，直至暴露第二鳍状结构的第一表面和输入/输出氧化绝缘层的一部分；刻蚀预设高度的第二鳍状结构，以形成第一凹槽；去除暴露出来的输入/输出氧化绝缘层和位于第一凹槽侧壁的输入/输出氧化绝缘层，以暴露绝缘隔离层；在第一凹槽中沉积第一绝缘材料，以形成绝缘隔离结构；基于第二鳍状结构，形成第二晶体管。

公开(公告)号：CN119153404A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411135779.8

申请日：2024-08-19

Applicant: 北京大学

Inventor： 吴恒 ,  彭莞越 ,  王润声 ,  黎明 ,  黄如

IPC: H01L21/8234 ,  H01L27/088

Abstract: 本申请提供一种倒装堆叠晶体管的制备方法、晶体管、器件及设备，方法包括：在衬底上形成有源结构，有源结构具有第一部分和第二部分，第一部分相比于第二部分靠近衬底；刻蚀源漏区域内的有源结构，并在第一源漏区域内填充绝缘材料，以形成填充结构，源漏区域包括第一源漏区域和第二源漏区域，第一源漏区域与第一部分对应，第二源漏区域与第二部分对应；基于第二源漏区域，形成第一晶体管的第一源漏结构和第一源漏金属；对第一晶体管进行倒片并去除衬底；通过材料的选择性刻蚀填充结构，以暴露第一源漏区域；基于第一源漏区域，形成第二晶体管的第二源漏结构和第二源漏金属。本申请可以实现正背面晶体管的完全自对准。

公开(公告)号：CN119133107A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411101564.4

申请日：2024-08-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 吴恒 ,  卢浩然 ,  彭莞越 ,  王润声 ,  黎明 ,  黄如

IPC: H01L21/8238 ,  H01L27/092

Abstract: 本申请提供一种堆叠晶体管的制备方法、堆叠晶体管及半导体器件。方法包括：在半导体衬底上形成有源结构，有源结构包括第一部分和第二部分，第二部分相对于第一部分靠近半导体衬底；基于第一部分，形成正面垂直堆叠晶体管，正面垂直堆叠晶体管包括：第一晶体管和第二晶体管，第一晶体管和第二晶体管的极性不同，第一晶体管和第二晶体管在第一方向上自对准，第一方向为垂直于半导体衬底的方向；倒片并去除半导体衬底；基于第二部分，形成反面垂直堆叠晶体管，反面垂直堆叠晶体管包括：第三晶体管和第四晶体管，第三晶体管和第四晶体管的极性不同，第三晶体管和第四晶体管在第一方向上自对准。

公开(公告)号：CN118900556A

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202410984338.9

申请日：2024-07-22

Applicant: 北京大学

Inventor： 吴恒 ,  卢浩然 ,  彭莞越 ,  王润声 ,  黄如

IPC: H10B10/00

Abstract: 本申请提供一种半导体器件、制备方法、存储器及电子设备。该半导体器件包括：沿第一方向依次堆叠的第一半导体结构、第一隔离层和第二半导体结构；其中，第一方向是与第一隔离层垂直的方向；第一半导体结构包括至少一个第一标准单元，每一个第一标准单元包括两个子单元，每一个子单元包括两个第一晶体管；第二半导体结构包括至少一个第二标准单元，每一个第二标准单元包括两个第二晶体管；电源轨，位于每一个子单元的两个第一晶体管之间，且电源轨与第一晶体管的第一源漏结构连接；导电通道，位于第二半导体结构内，且导电通道的第一端与第二半导体结构内的供电金属结构连接，导电通道的第二端沿第一方向延伸，并穿过第一隔离层与电源轨连接。

公开(公告)号：CN118507460A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410422818.6

申请日：2024-04-09

Applicant: 北京大学

Inventor： 吴恒 ,  卢浩然 ,  彭莞越 ,  王润声 ,  黄如

IPC: H01L23/535 ,  H01L21/48 ,  H01L27/02 ,  H01L27/085

Abstract: 本申请提供一种半导体器件及其制备方法，涉及半导体技术领域，解决了目前堆叠晶体管中漏极互连结构占用版图面积并会产生较大电阻的技术问题。该半导体器件包括第一晶体管、第二晶体管、绝缘层、漏极导电结构；其中，第一晶体管和第二晶体管位于绝缘层的两侧，第一晶体管和第二晶体管在第一方向上自对准，第一方向垂直于绝缘层；漏极导电结构贯穿绝缘层，并连接第一晶体管的漏极外延结构和第二晶体管的漏极外延结构。本申请提供的半导体器件具有漏极导电结构，漏极导电结构不会占用半导体器件的版图面积，并且缩短了漏极互连路径，减小了漏极互联电阻。

公开(公告)号：CN118315343A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410442420.9

申请日：2024-04-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 吴恒 ,  彭莞越 ,  葛延栋 ,  卢浩然 ,  王润声 ,  黎明 ,  黄如

IPC: H01L21/8238 ,  H01L27/092

Abstract: 本申请提供一种半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备，该方法包括：在衬底上形成有源结构；在有源结构上沉积绝缘材料，形成浅槽隔离结构；在浅槽隔离结构上形成硬掩模层，并以硬掩模层为掩模刻蚀浅槽隔离结构，以形成栅极凹槽；在栅极凹槽中沉积半导体材料，以形成初始伪栅结构；第一伪栅结构和第二伪栅结构自对准；去除浅槽隔离结构中包裹第一有源结构的一部分，以暴露第一有源结构；基于第一有源结构，形成第一晶体管；倒片并去除衬底；去除浅槽隔离结构中包裹第二有源结构的一部分，以暴露第二有源结构；基于第二有源结构，形成第二晶体管。通过本申请，可以优化工艺流程。

公开(公告)号：CN118280925A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410434413.4

申请日：2024-04-11

Applicant: 北京大学 ,  北京知识产权运营管理有限公司

Inventor： 吴恒 ,  葛延栋 ,  彭莞越 ,  卢浩然 ,  黎明 ,  王润声 ,  黄如 ,  卜伟海 ,  康劲

IPC: H01L21/8234 ,  H01L27/088

Abstract: 本申请提供一种半导体器件的制备方法、半导体器件及电子设备，该半导体器件的制备方法包括：在衬底上形成有源结构；形成第一半导体结构；将第一半导体结构与第一载片晶圆键合并翻转；去除衬底，暴露第二有源结构；形成第二半导体结构；将第二半导体结构与第二载片晶圆键合并翻转；去除第一载片晶圆，暴露第一半导体结构；在第一半导体结构中，形成第一栅极结构；在第一源漏结构上形成第一源漏金属；在第一晶体管上形成第一金属互连结构；将第一金属互连结构与第三载片晶圆键合并翻转；去除第二载片晶圆，以暴露第二半导体结构；形成第二金属互连结构。该方法避免了在形成第二源漏结构时的较高工艺温度影响第一栅极结构和第一金属互连结构。