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公开(公告)号:CN103000362A
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201210526634.1
申请日:2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微纳加工领域,特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感,和折叠之前相比,性能有明显提升;和传统工艺制备的三维立体电感相比,具有工艺步骤简单,成本低的优点。利用本方法制备的电感具有性能好,体积小,柔性(可弯曲可折叠),生物兼容性好,制备方法简单等特点,并可广泛应用于各种生物和非生物微系统中,特别是用于植入式的无线能量传输系统。