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公开(公告)号：CN102455589A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201110334871.3
申请日：2011-10-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
CPC classification number: G03F1/62 , B32B1/00 , B32B27/04 , B32B27/34 , B32B27/38 , B32B2307/71 , B32B2457/14 , B32B2457/202 , G03F1/64 , Y10T428/239
Abstract: 一种防尘薄膜组件框架，包括(1)由碳纤维和树脂构成的内部复合体；(2)由树脂构成的包覆体。所述内部复合材料包括碳纤维的层积体以及树脂，所述层积体为被所述树脂浸渍。所述的包覆体完全包覆所述的内部复合体，没有碳纤维从包覆层露出。
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公开(公告)号：CN101930164A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010172708.7
申请日：2010-05-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/14
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 本发明提供一种防尘薄膜组件，其在使用中没有从通气孔或过滤元件产生尘屑的疑虑，可靠度很高。本发明的防尘薄膜组件在通气孔的周缘部实施C或R倒角加工，而且将其直径设置成从内面侧向外面侧以逐渐增大的方式扩大的构造。再者，将通气孔内壁的表面粗糙度Ra设在1.0以下。像这样就能够大幅减少从周缘部所产生的尘屑，并且能够很精确地检查通气孔内部是否有异物，洗净效率也能够提高。结果，就能够提供一种防尘薄膜组件，其在使用中没有从通气孔或过滤元件周边产生异物的疑虑，可靠度极高。
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公开(公告)号：CN100437360C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510092419.5
申请日：2005-08-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 一种防护胶膜框架以及使用该框架的光刻用防护胶膜组件，其不仅能借由防护胶膜膜片的张力防止框架向内侧弯曲，使曝光面积减少，亦能得到尺寸精确度以及对光罩的贴附位置精确度良好的防护胶膜组件。本发明的框架，其特征为于框体至少一对的边，具有中央部分为朝外侧凸出的圆弧形状部分，其两侧为朝外侧凹入的圆弧形状部分，再更两外侧为直线形状部分。再者，朝外侧凹入圆弧形状部分的半径为朝外侧凸出圆弧形状部分的半径的1/3以上为宜。本发明特别适用于框架至少一对的边长为400mm以上的大型框架。
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公开(公告)号：CN100398413C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200610054951.2
申请日：2006-02-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/64 , G03F1/66 , G03F7/70741 , G03F7/70983
Abstract: 本发明提供收纳防护胶膜组件不会附着异物且可防止防护胶膜组件的污损而维持质量的照相平版印刷用防护胶膜组件收纳容器，其由用以载置防护胶膜组件的容器本体、及覆盖防护胶膜组件且边缘部与容器本体互相嵌合固定的盖体所构成的防护胶膜组件收纳容器，将框架保持销插入设于防护胶膜框架外侧面的孔来保持防护胶膜组件。该容器本体为树脂、该容器本体接合着金属构件、对保持防护胶膜组件的该框架保持销进行定位的定位构件及组装于容器本体的该金属构件是以机械方式进行连结、以及保持防护胶膜组件的该框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体时为佳，此外，该容器本体及该盖体的材质为树脂且具有表面电阻值为每单位面积1×1012Ω以下的防静电性能更佳。
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公开(公告)号：CN107102512B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201710083586.6
申请日：2017-02-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/66
Abstract: 提供一种收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其随时间的变化起因以及制造起因的尺寸误差的影响小，其管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器为由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成的且收纳无剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持掩模具有粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在防尘薄膜组件框架支持装置支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111308855A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201911192851.X
申请日：2019-11-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/64
Abstract: 本发明涉及防尘薄膜框架及防尘薄膜组件。本发明提供一种防尘薄膜框架、及使用该防尘薄膜框架而构成的防尘薄膜组件；该防尘薄膜框架，可减少因防尘薄膜的张力所造成的防尘薄膜框架的往内侧的挠曲，抑制防尘薄膜组件的曝光区域的减少，且使皱褶不易进入至防尘薄膜框架的边中央附近的防尘薄膜。本发明为矩形框状的防尘薄膜框架10，其特征在于：至少一边的长度超过500mm；于至少一对相对向的边中的各自的边，构成为边的中央的防尘薄膜框架10的剖面积，较边的端部的防尘薄膜框架的剖面积更大。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，其是使用本发明的防尘薄膜框架而构成的。
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公开(公告)号：CN106168735B
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201610323191.4
申请日：2016-05-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明的目的为提供一种防尘薄膜组件，即使离焦距离小，防尘薄膜组件框架的刚性低，也可容易地处理，从防尘薄膜组件收纳容器安全取出，从而可以无缺陷地向光掩模等贴附的防尘薄膜组件以及其安装方法。本发明的防尘薄膜组件，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧设置可装可卸的防尘薄膜组件支持装置20的同时，离焦距离/外尺寸对角长的值为0.0001～0.003。再者，防尘薄膜组件支持装置20，由平板状或者框状的支持体16构成，通过在支持体16被设置的微粘着性物质，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧可装可卸地设置。
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公开(公告)号：CN109388017A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810891458.9
申请日：2018-08-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明的目的在于提供能防止由于表膜构件框架上的粘合层的内缘部从截面观察时为曲面而发生的表膜的绷紧的表膜构件框架和表膜无绷紧而外观优异的种表膜构件。本发明是一种框状的表膜构件框架，在设置表膜的面上，设有从内缘侧向外缘侧下降的倾斜面，从该倾斜面的外缘侧终端到设置表膜的面的外缘设有平坦面。另外，本发明是一种表膜构件，在该表膜构件框架的设置表膜的面上，在倾斜面上和平坦面上设有粘接层，隔着该粘接层设置有表膜。
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公开(公告)号：CN107102512A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710083586.6
申请日：2017-02-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/66
Abstract: 提供一种收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其随时间的变化起因以及制造起因的尺寸误差的影响小，其管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器为由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成的且收纳无剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持掩模具有粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在防尘薄膜组件框架支持装置支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。
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公开(公告)号：CN103389618B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310170901.0
申请日：2013-05-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/64
Abstract: 提供一种掩模粘着剂的厚度均一形成的防尘薄膜组件框架。其为四角为圆弧的矩形的防尘薄膜组件框架，其特征在于∶在一个端面全周，靠防尘薄膜组件框架的内周部分上设置有作为掩模粘着剂的涂布用面的连续的高台部，靠外周为低台部，四角圆弧部的高台部的宽度，比防尘薄膜组件框架直线部中的高台部的宽度要大。
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