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公开(公告)号:CN1405827A
公开(公告)日:2003-03-26
申请号:CN02141667.2
申请日:2002-09-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01J9/02
CPC classification number: H01J9/025
Abstract: 本发明涉及电子发射元件、电子源、发光装置以及图像形成装置的各制造方法,即提供工序简略且制造成本低廉的、使以碳元素为主成分的纤维按照期望的密度固定在期望的位置上的、可以制造具有优异的电子发射特性的电子发射元件的方法,以及使用了上述元件的电子源、发光装置以及图像形成装置的各制造方法。采用具有以下特征的电子发射元件的制造方法。即,利用通过气溶胶化以碳元素为主成分的材料,并将之与气体一起搬送经由喷嘴使之紧密粘合在基板上的气溶胶式气相淀积法,用上述以碳元素为主成分的材料形成电子发射元件。
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公开(公告)号:CN1405371A
公开(公告)日:2003-03-26
申请号:CN02132083.7
申请日:2002-09-09
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , D01F9/127 , H01J1/3048 , H01J9/022 , H01J2201/30469
Abstract: 提供增加每单位面积的电子发射点、电流密度高、寿命长、制造简单的方法。将在粒子生成室中生成的粒子与运载气体一起通过运送管引导到配置室中,利用通过喷嘴配置在该配置室内的载物台上设置的基板1上的气相淀积法,将催化剂粒子4配置在基板1上形成的阴极电极3上,以该催化剂粒子4为核,从气相中生长以碳为主要成分的纤维5。
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