公开(公告)号：CN114422923A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210316744.9

申请日：2022-03-29

Applicant: 之江实验室

Inventor： 尹永刚 ,  施钧辉 ,  任丹阳 ,  陈睿黾 ,  李驰野 ,  王少博

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04 ,  H04R29/00

Abstract: 本发明公开了一种谐振式MEMS麦克风、声学成像仪和光声光谱检测仪，包括绝缘基底；硅谐振器，包括依次相连的谐振器锚点、连接梁、声波接收区和动梳齿，所述谐振器锚点的底部固定在所述绝缘基底上，所述连接梁、声波接收区、动梳齿悬在空中；固定电极，包括电极锚点和定梳齿，所述电极锚点固定在绝缘基底上，定梳齿悬在空中，定梳齿和所述动梳齿互相交错排列。本发明提出的MEMS麦克风采用悬臂梁结构，工作在一阶共振模态，使麦克风只响应共振频率附近特定频段的声波，而降低其他频率范围的噪声，在麦克风的硬件层面实现了自降噪功能；采用变面积式梳齿结构对振动进行检测，在增加电容检测的灵敏度同时，保持了较小的气体阻尼，提高了声波测量的灵敏度。

公开(公告)号：CN114189784A

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN202111405330.5

申请日：2021-11-24

Applicant: 之江实验室

Inventor： 施钧辉 ,  尹永刚 ,  王少博 ,  张劲 ,  任丹阳 ,  陈睿黾 ,  李驰野

IPC: H04R1/34

Abstract: 本发明公开了一种宽频带全指向性点声源产生装置，包括：激光器；光波导，所述光波导的一端与所述激光器相连；吸光体，所述吸光体固定在所述光波导的另一端；及遮光薄膜，所述遮光薄膜包裹在所述吸光体的表面。本发明提供的声源尺寸很小，吸光体的直径小于5mm，而且频带很宽、指向性好，可实现接近360°×360°的角度覆盖。