气体处理系统、气体处理方法及控制装置

    公开(公告)号:CN115529819A

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202280001495.2

    申请日:2022-03-31

    Abstract: 本发明涉及气体处理系统、气体处理方法及控制装置,在减轻气体利用者的负担的同时实现气体余量的容易管理。本公开的一实施方式涉及的气体处理系统(1)包括:第一容器(5A1),其收容能够捕集从入口侧流通的混合气体中所含的第一气体的第一多孔性金属有机结构体;第二容器(5B1),其与第一容器(5A1)串联地流通、且收容能够捕集混合气体中所含的第二气体的第二多孔性金属有机结构体;第一气体检测器(TCD11),其以第一容器(5A1)的下游侧的流路的空间为检测对象而设置,且能够检测第一气体;以及控制装置(100),其根据基于第一气体检测器的检测信息,输出至少有关第一容器(5A1)的状态的信息。

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