公开(公告)号：CN114615785A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202011431851.3

申请日：2020-12-07

Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所

Inventor： 杨亮 ,  李庆伟 ,  耿自才 ,  石文波 ,  李永钊 ,  吴克难 ,  赵天亮 ,  周冬建 ,  回晓康 ,  金玉奇

IPC: H05H1/46 ,  B01D53/02

Abstract: 本发明涉及一种双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒，且所述壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接，所述壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件，且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接，在真空腔体顶端一侧设有抽真空系统、另一侧设有气压采集系统，在真空腔体外壁上对称设有两个凹板电极，在真空腔体一侧设有射频供电系统，且两个凹板电极均与射频供电系统相连。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点，且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。

公开(公告)号：CN112584596B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201910937359.4

申请日：2019-09-30

Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所

Inventor： 杨亮 ,  石文波 ,  李庆伟 ,  耿自才 ,  周灿华 ,  李永钊 ,  回晓康 ,  金玉奇

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明涉及一种射频放电等离子体增强吸附速率的装置，包括真空腔室、抽真空系统组件、供气系统组件、电加热系统、射频供电系统及气压采集系统组件。当真空腔室通过球阀及机械泵等抽真空系统组件获得真空并由供气气源及质量流量计等供气系统组件调节气体种类和压强后，置于真空腔室内的吸气剂经电加热丝、供电电源及地线组成的电加热系统激活吸气，此时开启由射频电源、高频同轴线及射频耦合线圈组成的射频供电系统产生等离子体。通过真空计、真空计显示器、数字信息采集卡及电脑等采集系统组件监测腔室内气压的实时变化，其产生的等离子体有效地提高了吸气速率。

公开(公告)号：CN112584598A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201910937367.9

申请日：2019-09-30

Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所

Inventor： 石文波 ,  杨亮 ,  刘本康 ,  李庆伟 ,  耿自才 ,  周灿华 ,  李永钊 ,  回晓康 ,  金玉奇

IPC: H05H1/46 ,  B01D53/02

Abstract: 本发明涉及一种吸气剂射频激活装置。该吸气剂射频激活装置包括射频电源、同轴高压输出线，射频电极、真空腔体和吸气剂。在采用该装置对吸气剂进行激活时，吸气剂放置在真空腔体中，射频电源通过同轴高压输出线将能量传递到射频电极上，将能量耦合到真空腔体中的气体上产生等离子体，将能量耦合到吸气剂上以实现吸气剂的激活。与吸气剂的传统加热激活方式相比，该发明具有吸气剂激活时间短和吸气剂激活后具有更快的吸气速率的优点。