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公开(公告)号:CN104977430B
公开(公告)日:2017-12-05
申请号:CN201510346482.0
申请日:2015-06-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P21/02
Abstract: 本发明公开了一种无风洞虚拟热风速传感器测试装置,采用精密温度控制的热探针给传感器表面直接加载温差信号以模拟实际风速的影响。本发明可方便地进行大批量热风速传感器测试数据的采集、分析与处理,显示与存储,从而为热风速传感器的自动测试和标定提供了基础。本发明的优越性和技术效果在于:它通将计算机软硬件资源与仪器硬件融为一体,把计算机强大的计算处理能力和仪器硬件的测量及控制能力结合成为一个系统,测试软件的参数配制和数据采集简单易行,分析和处理功能灵活,大大提高了热风速传感器测试的效率,降低了测试成本。
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公开(公告)号:CN105668500B
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201610034473.2
申请日:2016-01-19
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度宽量程的力传感器及其制造方法,该传感器包括衬底(1),下层硅悬臂梁(2),上层硅薄膜(3),第一介质层(41)和第二介质层(42),第一压阻(51)和第二压阻第一导线(61)和第二引出导线(62);其中,衬底(1)中空,下层硅梁(2)位于衬底(1)中心上表面中空区域内,且表面和衬底(1)上表面齐平,下层硅梁(2)一端和衬底(1)连接,另一段悬空。该传感器既有在小力作用下的高灵敏度,也有很宽的测量范围。整个工艺简单。(52),以及第一压阻(51)和第二压阻(52)的引出
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公开(公告)号:CN106443056A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201610840148.5
申请日:2016-09-21
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于圆片级封装的MEMS风速风向传感器结构及封装方法,将硅圆片正面以倒装焊的方式圆片级封装在陶瓷基板上,而陶瓷基板的反面作为传感器和风接触的界面,仅需要对硅圆片和陶瓷基板低温键合,进行划片得到的传感器中,硅芯片上可以通过硅通孔将中心测温,元件加热元件和热传感测温元件连接到电路上进行控制和检测。为了将硅芯片和陶瓷基板更好的热接触,加热元件,中心测温元件和热传感测温元件的热端紧贴陶瓷基板。这样相对于之前的结构,可以降低成本,提高灵敏度和降低响应时间。本发明提出的基于圆片级封装的MEMS风速风向传感器具有成本低、灵敏度高,响应时间快以及制作工艺简单的优点。
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公开(公告)号:CN104977430A
公开(公告)日:2015-10-14
申请号:CN201510346482.0
申请日:2015-06-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P21/02
Abstract: 本发明公开了一种无风洞虚拟热风速传感器测试装置,采用精密温度控制的热探针给传感器表面直接加载温差信号以模拟实际风速的影响。本发明可方便地进行大批量热风速传感器测试数据的采集、分析与处理,显示与存储,从而为热风速传感器的自动测试和标定提供了基础。本发明的优越性和技术效果在于:它通将计算机软硬件资源与仪器硬件融为一体,把计算机强大的计算处理能力和仪器硬件的测量及控制能力结合成为一个系统,测试软件的参数配制和数据采集简单易行,分析和处理功能灵活,大大提高了热风速传感器测试的效率,降低了测试成本。
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公开(公告)号:CN109186650B
公开(公告)日:2020-08-11
申请号:CN201810975559.4
申请日:2018-08-24
Applicant: 佛山市富乐喜电子信息技术有限公司 , 佛山市川东磁电股份有限公司 , 东南大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 本发明公开了一种平面天线微波传感器安装结构,包括平面天线微波传感器,平面天线微波传感器安装于平面天线微波传感器架设机构上,平面天线微波传感器上设有微波传感器感应模块,微波传感器感应模块上设有光敏元件,微波传感器感应模块四周分别设有一个微波传感器感应模块固定板,每个微波传感器感应模块固定板上均设有一个第三金属螺纹孔,四个第三金属螺纹孔均通过第三金属螺栓固定在平面天线微波传感器上,本发明结构紧凑,使用方便,不仅可以多角度安装微波传感器,且使安装后的传感器结构稳固的同时方便拆装和维护。
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公开(公告)号:CN107796456B
公开(公告)日:2020-02-18
申请号:CN201710958511.8
申请日:2017-10-16
Applicant: 东南大学
IPC: G01F1/69
Abstract: 本发明公开了一种基于双检测模式的宽量程流量传感器,包括衬底,设于衬底上的中心加热电阻以及中心加热电阻两侧对称分布的若干电阻元件,若干所述电阻元件均可分时复用为加热电阻或测温电阻,距离中心加热电阻较近的一对为内侧电阻元件,距离中心加热电阻较远的一对为外侧电阻元件,所述内侧电阻元件距离中心加热电阻的距离相等,所述外侧电阻元件距离中心加热电阻的距离相等,所述内侧电阻元件分别与外侧电阻元件之间的距离远小于内侧电阻元件分别到中心加热电阻的距离,还公开了其测量方法。本发明的基于双检测模式的宽量程流量传感器及测量方法,利用该流量传感器测量流速,可以达到宽量程的效果,且测量准确,流速测量范围广。
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公开(公告)号:CN107907707B
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201711470767.0
申请日:2017-12-28
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器及检测方法,该传感器结构简单,且易于测量,具有高灵敏度。所述基于双层热电堆结构的风速风向传感器,所述风速风向传感器包括硅衬底、位于硅衬底上方的二氧化硅层,以及位于二氧化硅层中的加热电阻、上层热电堆组和下层热电堆组;上层热电堆组和下层热电堆组上下布设;加热电阻分别与第一加热电阻接触块和第二加热电阻接触块连接。
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公开(公告)号:CN109119740A
公开(公告)日:2019-01-01
申请号:CN201810973634.3
申请日:2018-08-24
Applicant: 佛山市富乐喜电子信息技术有限公司 , 佛山市川东磁电股份有限公司 , 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种微带平面天线传感器的抗干扰保护装置,包括安装座,所述安装座的上端固定连接有支撑杆,本发明通过衔接座下端以及夹紧板下端若干弹簧伸缩杆设计,在微带天线使用时,对微带天线进行抗震防护保护,且两个夹紧板通过第一滑块滑动连接在第一滑轨设计,以及横板内部嵌套连接有活动杆设计,以及活动杆下端弹簧设计,能有效针通过弹簧弹性作用,带动紧贴板与待安装的微带天线进行固定,人员拆卸更方便,支撑杆通过滚珠轴承活动连接有安装板设计,以及若干伸缩杆设计,能有效对安装板与安装座之间的放置角度通过伸缩杆伸缩作用进行相对调节,简单实用。
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