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公开(公告)号：CN102383090B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201110235041.5
申请日：2011-08-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为ZnO粉末，该第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为CaO粉末，该第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102965629A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210270076.7
申请日：2012-07-31
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/34 , C23C14/08 , C04B35/453 , C04B35/14
Abstract: 本发明提供一种适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜的溅射靶及其制造方法、利用该靶得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。本发明的溅射靶，其特征在于，由将氧化锌（ZnO）和二氧化硅（SiO2）作为主要成分的烧结体构成，烧结体的相对密度为95%以上，氧化锌（ZnO）与二氧化硅（SiO2）的摩尔比为40：60～95：5。
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公开(公告)号：CN102965628A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210269939.9
申请日：2012-07-31
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/34 , B32B9/04 , C04B35/453
Abstract: 本发明提供一种适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜的溅射靶及其制造方法、利用该靶得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。本发明的溅射靶，其特征在于，由将氧化锌（ZnO）和二氧化锡（SnO2）作为主要成分的烧结体构成，烧结体的相对密度为95%以上，氧化锌（ZnO）与二氧化锡（SnO2）的摩尔比为15：85～90：10。
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公开(公告)号：CN102628155A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210008345.2
申请日：2012-01-12
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种透明性及气体遮断性优异的薄膜的制造方法、适合形成该薄膜的共蒸镀用蒸镀材、通过该方法得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片及层叠片。本发明的薄膜的制造方法，其特征在于，使用由第1氧化物构成的升华性蒸镀材和由与该第1氧化物不同种类的第2氧化物构成的升华性蒸镀材，利用通过真空成膜法同时蒸镀的共蒸镀法，在基材上形成由第1氧化物和第2氧化物构成的氧化物薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102433531A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110285639.5
申请日：2011-09-23
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为MgO粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为CaO粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～99∶95～1，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102191460A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110045965.9
申请日：2011-02-23
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为SnO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102191459A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110045962.5
申请日：2011-02-23
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为Al2O3粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102191458A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110045954.0
申请日：2011-02-23
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为TiO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102191456A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110065645.X
申请日：2011-03-14
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为ZrO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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