用于NFET和PFET器件的间隔物集成方案

    公开(公告)号:CN107993932A

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201710616989.2

    申请日:2017-07-26

    Inventor: 彭建伟 吴旭升

    Abstract: 本发明涉及用于NFET和PFET器件的间隔物集成方案。本公开涉及半导体结构,更具体地,涉及用于NFET和PFET器件的间隔物集成方案及其制造方法。该结构包括:用于NFET器件的具有第一尺寸的侧壁间隔物的多个外延生长的鳍片结构;以及用于PFET器件的具有所述第一尺寸的侧壁间隔物的多个外延生长的鳍片结构。

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