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公开(公告)号：CN1870851A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610084863.7
申请日：2006-05-23
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Abstract: 等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。
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公开(公告)号：CN1812678A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610002477.9
申请日：2006-01-26
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H05B41/14 , H01F29/04 , H05B41/38 , G02F1/13357
CPC classification number: H05B41/2822
Abstract: 本发明的课题是提供一种多灯驱动系统，可以更有效地并列驱动多个放电灯，可以进一步提高多个放电灯的亮度均匀性，并且提供一种多灯驱动系统，可以根据在无源型显示器上显示的图像的明亮度特性，将多个放电灯的亮度调节成使彼此不同。该多灯驱动系统包括：电源变压器，从交流电源供给源被供给交流电源，并产生正电压(V_p)和负电压(V_n)；和电流均衡分配器，被施加了电源变压器的正电压并分割为多个电压，所分割的电压被分别施加到多个放电灯的第一电极，分配电流量以使输入各个放电灯的电流值相互均衡，电源变压器的负电压被共同施加给多个放电灯的第二电极。
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公开(公告)号：CN101420816B
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN200810108452.6
申请日：2008-05-30
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 魏淳任
Abstract: 提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。
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公开(公告)号：CN101064986B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200710086254.X
申请日：2007-03-09
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 崔大圭
IPC: H05H1/24 , H01L21/3205
Abstract: 本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101420816A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200810108452.6
申请日：2008-05-30
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 魏淳任
Abstract: 提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。
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公开(公告)号：CN110504761A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201811103342.0
申请日：2018-09-20
Applicant: 新动力等离子体株式会社 , 成均馆大学商业研究基金会
Abstract: 本发明实施例涉及用于等离子体电源的共振网络及用于等离子体发生器的电力供应装置，所述等离子体电源的共振网络连接在电源部和输出部之间，该共振网络可包括与所述电源部串联连接的共振电感(Lr)；与所述输出部并联连接且与所述共振电感(Lr)串联连接的共振电容(Cr)；以及与所述输出部和所述共振电感(Lr)串联连接且与所述共振电容(Cr)并联连接的无源元件。
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公开(公告)号：CN101779269A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200980000397.1
申请日：2009-04-02
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/6719
Abstract: 根据本发明的多工件处理室包括：室外壳，在该室外壳中形成有至少两个内部处理空间；至少一个分隔构件，该至少一个分隔构件设置在该室外壳中并将该室外壳隔成至少两个内部处理空间；以及各个内部处理空间，该各个内部处理空间与该分隔构件联接并具有对称形状，以均匀地产生处理反应。根据本发明的多工件处理室具有内部处理空间，所述内部处理空间通过与分隔构件联接而具有对称形状。因而，在整个内部处理区域上均匀地发生处理反应并且可提高工件处理过程的再现性和均匀性。
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公开(公告)号：CN101461051A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200780019750.1
申请日：2007-05-01
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 魏淳任
IPC: H01L21/677
Abstract: 提供一种基板传输设备和使用该设备的基板处理系统，该基板传输设备用于连续地将多个基板装载在处理室内/从处理室卸载多个基板，以减少传输基板所花的时间并提高生产量。基板传输设备安装在传输室内，且在第一和第二处理室与装载锁定室之间传输基板，第一和第二处理室位于传输室的横向侧。该基板传输设备包括：驱动单元，以供给旋转力；主轴，连接至该驱动单元；第一回转板臂，以装载基板至该第一处理室/从该第一处理室卸载基板；和第二回转板臂，以装载基板至该第二处理室/从该第二处理室卸载基板。因为在同时且连续处理多个基板期间，快速地交换处理前的基板和处理后的基板，所以可增加处理速率和总生产量。
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公开(公告)号：CN101080133A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710105100.0
申请日：2007-05-22
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 崔大圭
Abstract: 本发明的感应耦合等离子体反应器包括：具有搭载被处理基板的基板支撑台的真空腔；向真空腔内部供给气体的气体喷头；设于真空腔上部的介电窗；及设于介电窗上部的射频天线。气体喷头及基板支撑台与真空腔内部的等离子体电容耦合，射频天线与真空腔内部的等离子体感应耦合。等离子体反应器通过电容且感应的耦合在真空腔内部产生等离子体，由此更均匀地产生大面积的等离子体，同时容易进行等离子体离子能量的正确调节，从而可以提高成品率和生产能力。等离子体反应器包括磁芯，该磁芯的磁束出入口朝向真空腔内部，并且该磁芯以沿着射频天线将其覆盖的方式设于介电窗上部。射频天线由磁芯覆盖，可集中更强的磁束，最大限度抑制磁束的损失。
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