公开(公告)号：CN105549329A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201610023012.5

申请日：2016-01-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  吴剑威 ,  刘永猛

IPC: G03F7/20 ,  H02N15/00

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F7/70716 ,  H02N15/00

Abstract: 基于电制冷片动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激光干涉仪对工件台位置进行测量，采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。

公开(公告)号：CN105487348A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201610023033.7

申请日：2016-01-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘永猛 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F7/70716

Abstract: 基于主动平衡质量动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，采用双电机曲柄摇杆机构组成的主动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。

公开(公告)号：CN102520587B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201110378102.3

申请日：2011-11-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  闻荣伟 ,  刘永猛 ,  崔继文

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个线缆盒防转装置；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，线缆盒防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案冲击转矩大、换台节拍多、现有旋转换台方案双工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。

公开(公告)号：CN102495528A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201110377833.6

申请日：2011-11-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  刘永猛 ,  崔继文 ,  金国良

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个随动防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，随动防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案换台节拍多、冲击转矩大、现有旋转换台方案双工件台传感器和标记板相位反转、线缆缠绕及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。