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公开(公告)号：CN104897047B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510341862.5
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 无正交误差的双路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104931125B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510340552.1
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 抗偏振混叠的双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过二分之一波片、四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交且为±45°、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104880290B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510236284.9
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁矩形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，两永磁体对称安装在中心磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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公开(公告)号：CN104907242B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510235731.9
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的长永磁管向心励磁圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，永磁管以粘接方式同轴装配在长圆筒形外磁轭内部，永磁管内表面磁极的极性相同，通过磁轭构成闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁场分布，中心磁轭上均匀地绕有补偿线圈，所通电流与工作线圈中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一定比例，形成的补偿磁场可对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104848932B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510235709.4
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H17/00
Abstract: 双磁路两端对称励磁的矩形开放磁场式低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，两永磁体对称安装在中心磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104848930B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510235674.4
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H17/00
Abstract: 涡流补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，在与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104848929B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510235671.0
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H17/00
Abstract: 磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，两永磁体对称安装在中心磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，与气隙相邻的内磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，所通电流与工作线圈中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一定比例，形成的补偿磁场可对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104848936B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510236218.1
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H17/00
Abstract: 磁场跟踪补偿的双排永磁体向心励磁矩形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，双排永磁体对称安装在长磁轭内侧表面且同磁极相向布置，通过磁轭构成对称的闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，在与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，可同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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公开(公告)号：CN104913838A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510340554.0
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 抗偏振混叠的单路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过两个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交、光路重合的圆偏振参考光和圆偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN103062299B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201210574751.5
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , G03F7/20
Abstract: 滑动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板通过磁浮推力轴承进行承载、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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