一种光学加工系统和方法
    212.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103424996A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201310395256.2

    申请日:2013-09-03

    Applicant: 苏州大学

    CPC classification number: G03F7/70291

    Abstract: 一种光学加工系统和方法,该系统包括光学系统、载台、驱动系统,以及控制系统,该光学系统包括一空间光调制器作为该光学系统图形发生装置,所述空间光调制器具有若干像素单元,每个像素单元为反射镜,所述空间光调制器在进行图形生成时,参与构建图形的像素单元的反射镜统一翻转相同的角度γ,使得该空间光调制器构成一个以γ为闪耀角的光栅结构,所述光栅结构对入射光进行衍射分光,使光学系统获得至少两束能够形成干涉的相干光,所述光学系统利用上述相干光完成干涉直写复合光刻,从而使普通的激光直写技术的分辨率大大提高。

    一种反射式分光光栅及干涉光刻系统

    公开(公告)号:CN103424795A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201310395380.9

    申请日:2013-09-03

    Applicant: 苏州大学

    CPC classification number: G02B5/1861 G03F7/70408

    Abstract: 一种反射式分光光栅及干涉光刻系统,该反射式分光光栅包括位于反射面的光栅槽形区和位于该光栅槽形区外围的阻光区,所述光栅槽形区包括周期性分布的光栅结构,该光栅结构具有槽形反射面和非反射区,所述槽形反射面与光栅基面之间形成一斜角。该反射式分光光栅能够实现对±1级光的最大调制,使得反射出去的分束光具有最高的能量利用率,通过该反射式分光光栅的获得的干涉图形,具有良好的边界质量,能够完成进行精密的拼接图形,使得大幅面干涉光刻技术得到显著的提升。

    光学加工系统和方法
    215.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102566325B

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201210076272.0

    申请日:2012-03-21

    Abstract: 本发明公开了一种光学加工系统,包括加工平台、光学投影镜头、光学模板、中央控制系统、位置补偿系统和光源。其中,位置补偿系统包括位置检测系统、空间光调制器和位置信号处理模块。本发明的光学加工系统中,加工平台实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动,光学模板或光学投影镜头实现第三运动轴的扫描运动,通过空间光调制器对第二运动轴方向上的曝光位置进行动态补偿,实现了第二运动轴和第三运动轴这两个扫描轴的精确高速同步,从而能够以“两轴扫描、一轴步进”的方式实现三维加工,其加工效率和加工精度大幅提升。

    一种步进式光学加工系统和加工方法

    公开(公告)号:CN102331687B

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201110323729.9

    申请日:2011-10-21

    Abstract: 一种步进式光学加工系统和光学加工方法,该系统包括加工平台、光学头、中央控制系统和位置补偿系统,其中位置补偿系统包括空间光调制器、位置检测系统和图形控制器,所述空间光调制器具有位置补偿区,该空间光调制器上显示的加工图形可以在该位置补偿区中偏移,通过加工图形的偏移来补偿由机械运动产生的位置误差,提高了加工的精度和效率。本发明还提供了一种使用上述光学加工系统的光学加工方法。

    一种直写式光刻加工系统及光刻方法

    公开(公告)号:CN102998914A

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201210591299.3

    申请日:2012-12-31

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 一种直写式光刻加工系统和光刻方法,该光刻加工系统包括能够运用傅立叶展开计算功能的控制系统和由该控制系统控制实现多次光刻的曝光系统。该光刻方法依据傅立叶分析原理,将待刻曲面展开为傅立叶多项式,然后根据多项式中各项余弦函数进行多次光刻,使得多此光刻叠加后实现目标曲面的刻蚀。通过本发明的实施,能够对任意大幅面的三维曲面进行刻蚀,并且具有较高的设计灵活性、刻蚀效率和精确度,以及较低的成本等优点。

    三光束干涉光刻方法和系统

    公开(公告)号:CN102736451A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210229255.6

    申请日:2012-07-04

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 浦东林 胡进

    Abstract: 本发明公开了一种三光束干涉光刻方法和系统,其方法包括:激光束被位相光栅分光成三路光束后在加工工件表面实现N次干涉曝光,相邻两次曝光位置之间的错位值为dI/N,其中,N为大于等于3的奇数,dI为曝光后的光强分布的周期,所述三路光束分别为复振幅相同的第一光束和第二光束以及0级光束。通过本发明的三光束干涉光刻方法,可以在光刻胶上直接制备大幅面的精密多台阶结构,加工效率高,而且所采用的元器件容易获得,成本低。另外,采用三光束干涉曝光,对光栅和系统没有消零级的要求,易于制备。

    光学加工系统和方法
    220.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102566325A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201210076272.0

    申请日:2012-03-21

    Abstract: 本发明公开了一种光学加工系统,包括加工平台、光学投影镜头、光学模板、中央控制系统、位置补偿系统和光源。其中,位置补偿系统包括位置检测系统、空间光调制器和位置信号处理模块。本发明的光学加工系统中,加工平台实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动,光学模板或光学投影镜头实现第三运动轴的扫描运动,通过空间光调制器对第二运动轴方向上的曝光位置进行动态补偿,实现了第二运动轴和第三运动轴这两个扫描轴的精确高速同步,从而能够以“两轴扫描、一轴步进”的方式实现三维加工,其加工效率和加工精度大幅提升。

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