用于机器视觉分析的分布式处理系统及方法

    公开(公告)号:CN104471539B

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201380023836.7

    申请日:2013-05-08

    CPC classification number: G06T7/0004 G06K9/6202 G06T7/001 G06T2207/30164

    Abstract: 用于指定待在工作机上执行的机器视觉分析的部分的计算机实现方法。获得用于分析产品的数字图像的一组机器视觉算法。确定总时间估计,该总时间估计代表利用整组机器视觉算法分析所述数字图像的处理时间。如果总时间估计大于阈值,则获得对于一组机器视觉算法的两个以上算法中的每一个的算法时间估计。基于所述算法时间估计来计算与所述两个以上算法中的每一个相关联的排序。基于与两个以上算法中的每一个相关联的排序来选择待在工作机上执行的指定算法。然后,可以利用指定算法在工作机上分析数字图像。

    缺陷检查方法以及缺陷检查装置

    公开(公告)号:CN105026883B

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201480012327.9

    申请日:2014-01-27

    Abstract: 为了缩短缺陷图像的收集时间,缺陷检查装置具备:读出部,其读出已检测的半导体晶片的缺陷位置;第1摄像部,其在与读出的缺陷中的某一个缺陷所存在的芯片不同的芯片中,以第1倍率拍摄参照图像;第2摄像部,其以第1倍率拍摄包含读出的缺陷的第1缺陷图像;缺陷位置确定部,其比较通过第1摄像部拍摄的参照图像与通过第2摄像部拍摄的第1缺陷图像,来确定第1缺陷图像上的缺陷位置;以及第3摄像部,其基于确定缺陷位置,以比第1倍率高的第2倍率拍摄第2缺陷图像,并具有:排序部,其按照无重复地转一圈的路径顺序对读出的缺陷进行排序;以及载物台移动路径生成部,其对每个与参照图像对应的缺陷选择用于拍摄参照图像的芯片,并通过决定第1摄像部和第2摄像部中的载物台的移动位置来生成载物台移动路径。

    通过降低裸片到裸片过程噪声的缺陷信噪比增强

    公开(公告)号:CN108369202A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201680070546.1

    申请日:2016-12-08

    CPC classification number: G06T7/001 G06T2207/10061 G06T2207/30148

    Abstract: 通过直方图按比例调整来调整测试图像及参考图像的灰度级直方图。将来自所述直方图按比例调整的参数应用于所述测试图像及所述参考图像。在应用所述参数之后,比较所述参考图像与所述测试图像以例如通过从所述测试图像减去所述参考图像而产生差异图像。可降低所述差异图像中的噪声,这会改进所述差异图像中的缺陷识别。另外,可找到所述差异图像中在竖直或水平方向上伸长的有噪声结构。如果所述噪声超过某个阈值,那么可能不会检验所述结构。

    蜂窝结构体的端面检查方法以及端面检查装置

    公开(公告)号:CN108351310A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201680061392.X

    申请日:2016-10-26

    Abstract: 本发明提供能够检测蜂窝结构体的端面的隔壁的裂纹的端面检查方法以及端面检查装置。具备以第二端面(2b)作为载置面(3)而配置蜂窝结构体(1)的配置工序,并且一边向蜂窝结构体(1)的第一端面(2a)照射在与蜂窝结构体(1)的相对于载置面(3)为垂直方向的轴(a)之间形成的角度(k)为40°以上的光(12),一边获得第一端面(2a)的第一处理用图像数据。另外,一边照射上述的角度(k)小于40°的光(12),一边获得第一端面(2a)的第二处理用图像数据。将第一处理用图像数据与第二处理用图像数据进行比较而检测裂纹,从而进行蜂窝结构体(1)的端面检查。

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