公开(公告)号：CN102858681B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201180020735.5

申请日：2011-02-25

Applicant: 卡文迪什动力有限公司

Inventor： 约瑟夫·达米安·戈登·拉西 ,  托马斯·L·麦圭尔 ,  维克拉姆·乔希 ,  丹尼斯·J·约斯特

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00095 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/00611 ,  B81C2201/0104

Abstract: 本发明大体而言涉及互补式金属氧化物半导体(CMOS)后段(BEOL)处理中微机电系统(MEMS)悬臂式开关(cantilever switch)的形成。所述悬臂式开关经形成为与所述结构中的下电极电气交流。所述下电极可全覆沉积并图案化或仅沉积在下层结构的介层洞(via)或沟槽内。然后利用化学机械研磨或平坦化(CMP)处理将用于所述下电极的过量材料平坦化。接下来在所述平坦化的下电极上形成所述悬臂式开关。