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公开(公告)号:CN115406366B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202211040603.5
申请日:2022-08-29
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于原位共角SPR测量单层薄膜参数的ISOA方法,步骤包括:先利用SPR测量装置原位共角测量单层薄膜反射光谱和干涉条纹信息,经数据处理得到入射波长‑反射率和入射波长‑相位差关系曲线,再对改进人群搜索算法的数据初始化,从关系曲线中选取反射光谱及相位差数据,进行归一化处理得到处于同一量级的反射率值与相位差值数据集,作为改进人群搜索算法的输入值,并设置解算终止条件;最后运行改进人群搜索算法基于目标函数进行反演计算,通过搜寻目标函数的最小值来求解参数向量a,即得到n为折射率,k为消光系数,d为厚度。本方法操作方便,经一次运算可得到连续多波长下的薄膜参数,具有精确度高和效率高的优点。
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公开(公告)号:CN115218796B
公开(公告)日:2023-04-14
申请号:CN202211040904.8
申请日:2022-08-29
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于原位共角SPR检测多层薄膜参数的DEABC方法,包括:在原位共角模式下利用SPR测量装置测量多层薄膜样品在连续波长λ范围内入射光的干涉条纹信息和TM偏振波的反射光谱,经处理得到入射波长‑反射率和入射波长‑相位差关系曲线,接着从关系曲线中选取数据进行预处理,作为差分蜂群算法的输入值,并设置解算终止条件,最后采用差分蜂群算法基于目标函数进行反演计算,该目标函数以待测参数为函数参数,并反映反演计算值与实验测得值之间的相近度,以目标函数最小值为寻优方向求解对应的参数向量,即得到所有金属薄膜层在各个波长下的折射率、消光系数和厚度等参数。本发明具有检测方便、求解效率高、精度高的优点。
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公开(公告)号:CN111336964A
公开(公告)日:2020-06-26
申请号:CN202010231096.8
申请日:2020-03-27
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明公开了一种基于单轴对称标准器的误差补偿方法包括以下步骤:将测量空间划分为若干测量区域;同一测量区域内的误差等级相同,并且随着测量范围扩大,测量误差以相同的线性变化系数增大;设τ误差等级对应的τ测量区域的线性变化系数为kτ,那么τ测量区域的相关系数为δτ=1/kτ;根据标准器上各节点所处的测量区域,为各节点匹配相应的相关系数;各节点的修正相关系数等于节点权重等级与匹配相关系数的乘积;根据修正相关系数来补偿各节点对应的误差测量值。以本发明的基于单轴对称标准器的误差补偿方法为基础,本发明还公开了局域性测量误差评价方法与整体性测量误差评价方法。本发明能够提高误差检测的准确性,提高测量误差评价的代表性和说服力。
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公开(公告)号:CN111238426A
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN202010113943.0
申请日:2020-02-24
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明公开了用于校准微纳米坐标测量系统测量误差的标准装置,包括底座,底座上分布有标准单元,标准单元选择性的对称设置在半对称拓扑结构或全对称拓扑结构的节点上;全对称拓扑结构由半对称拓扑结构与镜像半对称拓扑结构组成。半对称拓扑结构包括位于同一中轴直线上的中心节点,相邻中心节点之间的拓扑长度均为l;每个中心节点均沿关于中轴直线呈θ夹角的斜直线依次衍生出多级衍生节点;相邻同级衍生节点之间的距离等于相邻中心节点之间的拓扑长度l;每个衍生节点均具有关于中轴直线对称的对称节点。解决现有技术中的标准器不能很好适应微纳米坐标测量系统测量范围跨度大与精度高的特点的技术问题。
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公开(公告)号:CN106871949B
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201710249737.0
申请日:2017-04-17
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明涉及一种用于多传感器测量系统的多球板标准器,包括板体,板体上表面按拓扑结构分布有标准球;拓扑结构包括按正四边形或正八边形路径延伸布置的一级节点,一级节点至少衍生出二级节点:以相邻两个上一级节点为一个衍生组并向外衍生出两个下一级节点,该衍生组中两个上一级节点分别沿着以自身为端点并与它们两者自身的连线呈135°的射线方向,以相等的距离衍生出各自的下一级节点。本发明还涉及一种联合误差检测方法:采用本发明的10球标准器,对标准球进行编号;测量包括标准球直径的各种实际值;各传感器依次按照采样路径对各标准球进行采样;计算标准球的球心坐标以及球体直径测量值,然后分别计算各类联合误差,判断各联合误差是否合格。
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公开(公告)号:CN109365924A
公开(公告)日:2019-02-22
申请号:CN201811583330.2
申请日:2018-12-24
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
IPC: B23F23/00
Abstract: 本发明涉及一种多层-多球磁定位式齿距样板包括以上表面为基平面的基座,基平面上围绕定心圆柱/圆球/圆锥的中心从内向外依次间隔环形分布有至少两层定位孔;每层定位孔上各定位孔的中心均位于在基平面内以定心圆柱/圆球/圆锥的中心点的水平投影为中心,以虚拟齿轮的分度圆的半径为半径的圆形曲线上;每层定位孔的孔数与相应虚拟齿轮的齿数一致;定位孔的开口端设有用于放置检测球的倒角α;检测球与定心圆柱/圆球/圆锥均采用含铁材料制成;基座内设有用于将检测球吸合固定在基座上的磁定位装置。还提供用于多层-多球磁定位式齿距样板的磁力设计方法。本发明能根据测量需要组装成不同形式的齿距样板,并能定量设计出满足磁力需求的相关参数。
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公开(公告)号:CN107560583A
公开(公告)日:2018-01-09
申请号:CN201710744144.1
申请日:2017-08-25
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
Inventor: 周森
IPC: G01B21/10
Abstract: 本发明涉及一种圆柱工件的轴心线校正方法,首先基于工件端面参考点C0的设计来确定工件在测量坐标系下的空间相对位置,然后利用工件定位截面ZA、ZB上两组对称相关的补偿点实现定位截面在X与Y轴偏差的首次修正Δx与Δy,接着通过对定位截面ZA、ZB轮廓的再次采样获取并拟合计算出中心点O′A、O′B,以中心点O′A与中心点O′B确定的直线作为圆柱工件的基准轴线φ,建立与参考点C0的几何关系并求解,实现基准轴线φ与测量坐标系Z轴相对偏差角θ的校准修正。本发明还提供一种圆柱工件分段截面的直径测量方法:建立定位截面修正值Δx与Δy与被测截面的几何关系,得出线性补偿值Δxi与Δyi,计算探针针对采样点的坐标,形成对被测截面轮廓一体化自动采样,最后利用空间投影和拟合算法对采样数据处理求出直径量值。
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公开(公告)号:CN117948878A
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN202311648111.9
申请日:2023-12-04
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明属于大尺寸齿轮测量技术领域,具体涉及一种大齿轮齿面全几何信息定量采样方法及其应用,在大齿轮齿面不同特征区域设定的测量不确定度的约束下,以总检测成本最小为目标,确定各个不同特征的样本量的最优临界值,所述总检测成本包括测量动作总成本与检测误差成本,所述样本量为覆盖全齿面的总采样点数。用于确定大齿轮单个齿面的样本量的最优临界值或者整个齿轮所有齿面的样本量的最优临界值,并按所述样本量的最优临界值对齿轮标准器的齿面进行采样,根据采样数据拟合齿面全几何信息,以校准测量仪器。本发明能很好的平衡采样精度和采样成本,避免为了追求采样精度去盲目增加采样点,大大降低了大尺寸齿面轮廓采样过程中产生的总成本消耗。
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公开(公告)号:CN117889764A
公开(公告)日:2024-04-16
申请号:CN202311704405.9
申请日:2023-12-13
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
Abstract: 本发明公开了齿轮的跨棒距或棒间距的测量方法,包括以下步骤:第一步、根据待测齿轮选取适配直径的一对量棒,其特征在于:一对量棒由相同尺寸的一对圆锥形柱来替代;第二步、确定一对圆锥形柱在竖向上横插入待测齿轮的齿槽的高度位置:保持圆锥形柱的轴心线竖直,竖直移动圆锥形柱;圆锥形柱轴向高度上插入待测齿轮的齿槽且边沿与该齿槽内的左右齿面接触处的横截面为测量圆,测量圆与量棒的直径相等;第三步、测量待测齿轮的跨棒距或棒间距:待测齿轮水平放置,将一对圆锥形柱的测量圆位置水平横向插入待测齿轮上的对应位置后保持固定;当待测齿轮为外齿轮时,测量跨棒距;或者,当待测齿轮为内齿轮时,测量棒间距。
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公开(公告)号:CN116576817A
公开(公告)日:2023-08-11
申请号:CN202310488957.4
申请日:2023-05-04
Applicant: 重庆市计量质量检测研究院
IPC: G01B21/20 , G01M13/021
Abstract: 本发明属于螺旋齿轮标准器技术领域,具体涉及一种螺旋线模拟方法、螺旋齿轮标准器模拟装置与校准方法,生成虚拟螺旋曲线,可移动受触点沿所述虚拟螺旋曲线运动。螺旋齿轮标准器模拟装置包括激光跟踪干涉仪、受触微元与坐标移动器;激光跟踪干涉仪生成虚拟螺旋曲线上的坐标点,能够提供并跟踪出高精度的坐标,从而保证所模拟出的螺旋齿轮标准器的精度。本发明摆脱了对实体齿轮的依赖,通过虚实结合的方式模拟出能够被触碰感知的螺旋线,大大降低了成本。本发明适用范围广,能够模拟出各种尺寸螺旋齿轮的螺旋线,且无需增加成本。
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