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公开(公告)号：CN110306168A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910591943.9
申请日：2019-07-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供的一种特征尺寸可调控周期性纳米线宽样板的制备方法，利用在薄膜厚度控制和三维均匀性方面最好的ALD技术制备具有精确厚度的周期性纳米叠层薄膜，然后通过切割，对粘和研磨抛光等微纳加工技术，将纳米薄膜的厚度转化为纳米线宽样板的特征尺寸，即突破了传统光刻+刻蚀技术无法加工小尺寸纳米线宽样板的技术极限，又可大大提高纳米线宽样板的加工精确度和可重复性，这对制备高精度和高质量纳米线宽样板具有重要意义。该方法制备过程简单易行，与现有产业化半导体制备工艺流程相兼容，可以以廉价的成本和简单的设备制备出高质量周期性纳米线宽样板。
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公开(公告)号：CN116930288A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310898977.9
申请日：2023-07-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/327 , G01N27/49
Abstract: 本发明属于葡萄糖传感器领域，公开了一种基于图形化结构的电化学葡萄糖传感器用电极及制备方法，包括：采用丝网印刷工艺在柔性基底上制备岛桥图形化结构的ZnO薄膜；采用水浴法在图形化结构的ZnO薄膜上进行ZnO纳米线的生长，得到基于图形化结构的电化学葡萄糖传感器用电极。利用图形化结构的ZnO薄膜提升柔性基底与纳米机制材料之间的界面结合力，改善传感器膜层间的晶格失配或静电吸附引发损伤萌生扩展区，同时改善电极在服役条件下的表面张力及局部应力应变曲线，最终实现柔性电极的局部应力可控，提高膜层结构的力学性能和结构强度，提高电化学葡萄糖传感器的性能和结构稳定性，进而提高电极在拉伸、压缩及扭转等外力作用下的结构稳定性。
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公开(公告)号：CN114813870A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210547108.7
申请日：2022-05-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种电化学葡萄糖传感器电极及其制备方法，以石墨烯纤维(GF)为基底，以Au和Ni(OH)2为无酶葡萄糖催化剂的葡萄糖传感器电极。制备时，采用水热法制备石墨烯纤维，采用电化学沉积的方法制备GF/Au/Ni(OH)2电极。本发明的葡萄糖传感器底层的石墨烯纤维优异的电导率能够保证电荷的快速转移和传输，外部的Au和Ni(OH)2表现出高催化活性和低生物毒性,还能起到协同催化的作用，使其具有优越的葡萄糖传感器性能。解决了现有技术中葡萄糖传感器导电率低，柔性差的问题。
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公开(公告)号：CN110306168B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201910591943.9
申请日：2019-07-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供的一种特征尺寸可调控周期性纳米线宽样板的制备方法，利用在薄膜厚度控制和三维均匀性方面最好的ALD技术制备具有精确厚度的周期性纳米叠层薄膜，然后通过切割，对粘和研磨抛光等微纳加工技术，将纳米薄膜的厚度转化为纳米线宽样板的特征尺寸，即突破了传统光刻+刻蚀技术无法加工小尺寸纳米线宽样板的技术极限，又可大大提高纳米线宽样板的加工精确度和可重复性，这对制备高精度和高质量纳米线宽样板具有重要意义。该方法制备过程简单易行，与现有产业化半导体制备工艺流程相兼容，可以以廉价的成本和简单的设备制备出高质量周期性纳米线宽样板。
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公开(公告)号：CN110646639A
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201910877455.4
申请日：2019-09-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 发明涉及一种纳米测量仪器校准用标准样板及其制备方法，利用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层的Al2O3薄膜；再在Al2O3薄膜表面旋涂光刻胶，并进行烘干；利用电子束直写的方式对光刻胶进行曝光操作，曝光图案为纳米测量仪器校准用标准样板中校准结构在x方向和y方向对应的图案；在显影液中进行显影，然后进行后烘；去除显影部位残余的光刻胶；采用腐蚀方法去除未被光刻胶覆盖的Al2O3薄膜；去除表面的剩余光刻胶；进行烘干得到所述纳米测量仪器校准用标准样板。本发明能够实现对校准结构的三维尺寸精度的纳米级控制，同时解决了一次性校准原子力显微镜x、y、z轴的问题，提高了校准效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110530313A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910683553.4
申请日：2019-07-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/04 , B24B1/00 , B24B37/04 , C23C16/455 , C23C16/56
Abstract: 本发明提供的一种跨量级多尺度线宽标准器的制备方法，包括以下步骤：步骤1，利用原子层沉积法在洁净的衬底上沉积两种或者两种以上材料形成的纳米叠层薄膜；步骤2，将步骤1中得到的纳米叠层薄膜依次进行膜面对粘、加热固化，之后得到固化样品；步骤3，将步骤2中得到的固化样品依次进行机械减薄、机械抛光，得到抛光样品；步骤4，将步骤3中得到的抛光样品依次进行离子减薄、离子抛光，最终得到跨量级多尺度线宽标准器；本发明突破了传统光刻+刻蚀技术无法加工的极小特征尺寸，又可实现不同量级、不同尺度线宽特征尺寸在同一线宽样板上面的集成，实现一块线宽样板满足不同尺度，不同领域的要求。
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公开(公告)号：CN118159005A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410130256.8
申请日：2024-01-31
Applicant: 西安交通大学 , 国网智能电网研究院有限公司 , 国网江苏省电力有限公司南京供电分公司
IPC: H05K9/00
Abstract: 一种屏蔽频率可调节的电磁屏蔽柔性薄膜，包括柔性薄膜基底，所述柔性薄膜基底上表面设置有柔性半导体层，柔性半导体层的上表面设置有金属电极；所述柔性半导体层由掺杂材料通过离子注入或热扩散方法掺杂融合进柔性半导体材料构成，掺杂材料采用能够改变柔性半导体材料电导率的元素，包括氮、磷、硼；本发明通过偏压改变电磁屏蔽柔性薄膜的电阻率进而调节薄膜的屏蔽频率，使得柔性半导体层能够有选择性地保留特定频段的电磁波并屏蔽其余频段的电磁波，解决了常规金属磁屏蔽材料不具有屏蔽频率选择性的问题，质量轻，灵敏度高，适用范围广，成本低的优点。
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公开(公告)号：CN114813870B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202210547108.7
申请日：2022-05-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种电化学葡萄糖传感器电极及其制备方法，以石墨烯纤维(GF)为基底，以Au和Ni(OH)2为无酶葡萄糖催化剂的葡萄糖传感器电极。制备时，采用水热法制备石墨烯纤维，采用电化学沉积的方法制备GF/Au/Ni(OH)2电极。本发明的葡萄糖传感器底层的石墨烯纤维优异的电导率能够保证电荷的快速转移和传输，外部的Au和Ni(OH)2表现出高催化活性和低生物毒性,还能起到协同催化的作用，使其具有优越的葡萄糖传感器性能。解决了现有技术中葡萄糖传感器导电率低，柔性差的问题。
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公开(公告)号：CN110530313B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201910683553.4
申请日：2019-07-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/04 , B24B1/00 , B24B37/04 , C23C16/455 , C23C16/56
Abstract: 本发明提供的一种跨量级多尺度线宽标准器的制备方法，包括以下步骤：步骤1，利用原子层沉积法在洁净的衬底上沉积两种或者两种以上材料形成的纳米叠层薄膜；步骤2，将步骤1中得到的纳米叠层薄膜依次进行膜面对粘、加热固化，之后得到固化样品；步骤3，将步骤2中得到的固化样品依次进行机械减薄、机械抛光，得到抛光样品；步骤4，将步骤3中得到的抛光样品依次进行离子减薄、离子抛光，最终得到跨量级多尺度线宽标准器；本发明突破了传统光刻+刻蚀技术无法加工的极小特征尺寸，又可实现不同量级、不同尺度线宽特征尺寸在同一线宽样板上面的集成，实现一块线宽样板满足不同尺度，不同领域的要求。
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公开(公告)号：CN111313756A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010239455.4
申请日：2020-03-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开一种机械整流式压电悬臂梁振动能量收集器，能量收集器包括底座、固定于底座的固支端、固支于固支端的压电悬臂梁、附加在压电悬臂梁尖端的质量块以及电极支架，质量块的上下表面分别设置有上活动电极和下活动电极，上活动电极和下活动电极分别与压电悬臂梁的两个引线连接；电极支架固定于底座上，电极支架上从上至下设置有上固定电极、中固定电极和下固定电极，上固定电极位于上活动电极的上方，中固定电极位于上活动电极和下活动电极之间，下固定电极位于下活动电极的下方，上固定电极和下固定电极相连。本发明能够使振动产生的压电交变电流通过机械整流器转换为直流电，避免了传统电子整流器的压降。
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