公开(公告)号：CN109945965A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201910237658.7

申请日：2019-03-27

Applicant: 国网上海市电力公司 ,  华东电力试验研究院有限公司 ,  西安茂荣电力设备有限公司 ,  西北工业大学

Inventor： 司文荣 ,  傅晨钊 ,  苏磊 ,  黄华 ,  高凯 ,  包海龙 ,  陆启宇 ,  陈璐 ,  袁鹏 ,  虞益挺

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明涉及一种光纤EFPI超声波传感器用支撑梁臂式敏感膜片，包括支撑梁臂和中心敏感单元，所述的中心敏感单元安装在支撑梁臂上；所述的敏感膜片的工作特性由支撑梁臂的数量n、支撑梁臂的长度L、支撑梁臂截面的宽度w、中心敏感单元的有效长度2r和整体膜片的厚度h决定。与现有技术相比，本发明具有可调节性强，用于达到检测不同频率范围内的超声波信号，大大扩展了其使用范围等优点。

公开(公告)号：CN211552729U

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN202020267968.1

申请日：2020-03-06

Applicant: 国网上海市电力公司 ,  西北工业大学 ,  国网宁夏电力有限公司电力科学研究院 ,  国网山西省电力公司 ,  全球能源互联网研究院有限公司 ,  西安茂荣电力设备有限公司

Inventor： 司文荣 ,  虞益挺 ,  傅晨钊 ,  李浩勇 ,  吴旭涛 ,  陆启宇 ,  黄华 ,  王谢君 ,  徐梦飞 ,  黄昊 ,  李秀广 ,  梁基重 ,  药炜 ,  何宁辉 ,  周秀 ,  马飞越 ,  陈川 ,  刘昕 ,  袁鹏

IPC: G01B11/02 ,  G02B6/293

Abstract: 本实用新型涉及一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，包括梅花型光纤、引导孔、支撑框架、孔肩、干涉腔本体、敏感膜片、第一反射层和第二反射层；所述梅花型光纤包括中心光纤和环绕光纤；所述梅花型光纤固接在引导孔中并与第二反射层相连接，所述的中心光纤与第一反射层中心对准，所述的环绕光纤与第二反射层相连接，所述第二反射层设在引导孔底部和干涉腔本体构成的孔肩上，所述干涉腔本体设在引导孔的底部且与引导孔的中心同轴，所述敏感膜片制作在干涉腔本体的底部并与支撑框架连接，所述第一反射层设在敏感膜片上。与现有技术相比，本实用新型具有工艺流程少、加工难度低、结构设计灵活、制作成本低等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利