一种仿蝎子狭缝压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN114216590A

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN202111405556.5

    申请日:2021-11-24

    Abstract: 本发明涉及一种仿蝎子狭缝压力传感器及其制造方法,仿蝎子狭缝压力传感器包括:硅基板以及安装在硅基板上的压电元件。硅基板的边缘上沿长度方向开设有条型狭缝,条型狭缝底部的应力场中在硅基板的轮廓处的第一主应力均与硅基板的轮廓垂直;其中应力场中某点的第一主应力为该点所有应力中最大的应力。保证了当硅基板上条型狭缝的一侧发生形变时,条型狭缝底部的应力场中的第一主应力与压电元件的极化方向一致,这就使得压电元件能够发生较大形变,进而提高压电元件的机电转换效率,增大输出信号实现自供能。

    一种大口径凹镜面面形的测量装置

    公开(公告)号:CN205066714U

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201520791905.5

    申请日:2015-10-14

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 马锁冬 李博

    Abstract: 本实用新型公开了一种大口径凹镜面面形的测量装置。两个显示屏、合光器件、分束器、待测大口径凹镜面与彩色相机形成共光路结构,显示屏和彩色相机均置于待测镜面的焦平面处,彩色相机聚焦于待测镜面;图像输出器将沿两个正交方向分别编码的红色和蓝色双频条纹图像分别传输至两个对应的显示屏上同步显示,显示信号经合光器件输出彩色双频条纹图,由分束器反射至待测镜面表面;待测镜面反射的目标变形条纹图通过分束器后由彩色相机接收,传输至目标图像处理器,经数据处理,得到待测镜面的三维面形分布。本实用新型提供的测量装置,系统结构简单紧凑,无中心遮拦,对表面变化复杂的大口径凹镜面物体的三维面形能实现快速、准确的测量。

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